一种用于夹持半导体器件的夹具的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12088777

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本实用新型涉及半导体光学电子技术领域,具体涉及一种用于夹持半导体器件的夹具。背景技术高反膜属于光学薄膜的重要组成部分,半导体激光器谐振腔中的光学薄膜,不仅可以保护器件的端面,降低阈值电流,而且可以提高激光器的输出功率和工作寿命。因此,对于生长高反膜的半导体器件,其装夹的夹具需要保证样品的安全、完整,以及高反膜的质量,同时,保护非高反膜生长面上不生长高反膜,杜绝样品的浪费。现有的半导体器件夹具结构复杂,装夹困难,样品的非高反膜生长面容易生长高反膜,样品浪费严重。实用新型内容本实用新型的目的在于针对...
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