一种用于夹持半导体器件的夹具的制作方法

本实用新型涉及半导体光学电子技术领域，具体涉及一种用于夹持半导体器件的夹具。

背景技术：

高反膜属于光学薄膜的重要组成部分，半导体激光器谐振腔中的光学薄膜,不仅可以保护器件的端面,降低阈值电流,而且可以提高激光器的输出功率和工作寿命。因此，对于生长高反膜的半导体器件，其装夹的夹具需要保证样品的安全、完整，以及高反膜的质量，同时，保护非高反膜生长面上不生长高反膜，杜绝样品的浪费。现有的半导体器件夹具结构复杂，装夹困难，样品的非高反膜生长面容易生长高反膜，样品浪费严重。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种用于夹持半导体器件的夹具，该夹具结构简单，便于样品装夹，同时，能够保证样品非高反膜生长面上不生长高反膜，使上述问题得到改善。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种用于夹持半导体器件的夹具，包括基座、支撑件、夹持件、拉杆、挡板及弹性件；所述支撑件固定设置于所述基座且设置有用于放置样品的工作端面，所述工作端面相对于所述基座的端面倾斜，所述工作端面设置有用于支撑样品的限位台；所述夹持件包括连接板和侧板，所述连接板与所述侧板连接，所述侧板与所述支撑件连接；所述连接板开设有第一定位孔，所述拉杆穿设于所述第一定位孔，所述拉杆的一端与所述挡板固定连接，所述弹性件套设于所述拉杆且抵接于所述连接板和所述挡板之间，所述挡板与所述支撑件之间形成用于夹持样品的夹持区。

在该实施例中，样品位于挡板及支撑件形成的夹持区内，使得样品的非高反膜生长面被包围，在样品蒸镀高反膜时，能够保证非高反膜生长面不生长高反膜。

在本实用新型可选的实施例中，所述侧板包括相对设置的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板位于所述连接板的一侧，所述第二侧板位于所述连接板的另一侧，所述支撑件抵接于所述第一侧板和所述第二侧板之间。

在本实用新型可选的实施例中，所述侧板设置有第一凹槽，所述支撑件可滑动地嵌设于所述第一凹槽内，所述夹持件与所述支撑件通过第一螺栓连接，所述第一螺栓贯穿侧板且抵接于所述支撑件。

在本实用新型可选的实施例中，所述支撑件的与所述侧板连接的一侧设置有第二凹槽，所述侧板设置有第一凸台，所述第一凸台嵌设于所述第二凹槽内，所述夹持件与所述支撑件通过第一螺栓连接，所述第一螺栓贯穿侧板且抵接于所述支撑件。

在本实用新型可选的实施例中，所述工作端面设置有第二凸台，所述第二凸台与所述限位台围成用于放置样品的储物区。

在本实用新型可选的实施例中，所述支撑件包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件相对于所述第二支撑件倾斜，所述工作端面位于所述第二支撑件，所述第一支撑件与所述基座通过第二螺栓固定连接，所述第一支撑件开设有至少两个通孔，所述基座开设有至少两个与所述通孔对应的螺纹孔，所述第二螺栓穿过所述通孔且与所述螺纹孔啮合。

在本实用新型可选的实施例中，所述弹性件为弹簧，所述弹簧套设于所述拉杆并位于所述挡板与所述连接板之间。

在本实用新型可选的实施例中，所述拉杆设置有把持部，所述把持部位于所述拉杆的远离所述挡板的一端。

在本实用新型可选的实施例中，所述基座为具有第二定位孔的圆形基座，所述第二定位孔的数量至少为三个。

在本实用新型可选的实施例中，所述基座为具有第二定位孔的方形基座，所述第二定位孔的数量至少为三个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种生长半导体器件高反膜的夹具，该夹具结构简单，便于样品装夹，同时，能够保证样品非高反膜生长面上不生长高反膜，样品合格率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型第一实施例的用于夹持半导体器件的夹具的结构示意图；

图2为图1的基座的结构示意图；

图3为图1的基座的另一种结构示意图；

图4为图1的支撑件的结构示意图；

图5为图1的夹持件的结构示意图；

图6为图1的拉杆的结构示意图；

图7为本实用新型第二实施例的用于夹持半导体器件的夹具的结构示意图；

图8为图7的支撑件的结构示意图；

图9为本实用新型第三实施例的用于夹持半导体器件的夹具的结构示意图；

图10为图9的支撑件的结构示意图；

图11为图9的夹持件的结构示意图。

图中标记具体为：

基座10；

螺纹孔110，第二定位孔120；

支撑件20；

工作端面210，限位台211，夹持区212；

第二凹槽220，第二凸台230，储物区240；

第一支撑件250，通孔251；

第二支撑件260；

夹持件30；

连接板310，第一定位孔311；

侧板320，第一侧板321，第二侧板322；

第一凹槽323，第一凸台324；

拉杆40，把持部410；

挡板50，弹性件60，第一螺栓70，第二螺栓80。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

第一实施例

请参照图1，本实施例提供了一种用于夹持半导体器件的夹具，包括基座10、支撑件20、夹持件30、拉杆40、挡板50及弹性件60。

如图2所示，基座10的形状为圆台形,基座10可以开设有至少两个螺纹孔110，螺纹孔110位于基座10的工作面，并沿工作面的直径方向排布。基座10还可以开设有第二定位孔120，第二定位孔120用于基座10与外部设备连接。第二定位孔120可以为3个，并沿基座10的周向均匀分布。另外，如图3所示，基座10的形状还可以为方形基座。

支撑件20固定设置于基座10且设置有用于放置样品的工作端面210。工作端面210相对于基座10的端面倾斜，即工作端面210与基座10的端面具有夹角。

如图4所示，作为本实施例的可选方案，支撑件20可以包括第一支撑件250和第二支撑件260。第一支撑件250与基座10通过第二螺栓80固定连接，第二支撑件260相对于第一支撑件250倾斜。第一支撑件250开设有至少两个与基座10的螺纹孔110对应的通孔251，第二螺栓80穿过通孔251且与螺纹孔110啮合。工作端面210位于第二支撑件260，工作端面210设置有用于支撑样品的限位台211，限位台211可以将样品固定于工作端面210。

如图5所示，夹持件30包括连接板310和侧板320，连接板310与侧板320连接，侧板320与支撑件20连接。连接板310开设有第一定位孔311，侧板320包括相对设置的第一侧板321和第二侧板322，第一侧板321位于连接板310的一侧，第二侧板322位于连接板310的另一侧，支撑件20抵接于第一侧板321和第二侧板322之间。侧板320可以设置有第一凹槽323，支撑件20可滑动地嵌设于第一凹槽323，夹持件30与支撑件20通过第一螺栓70连接，第一螺栓70贯穿侧板320且抵接于支撑件20。

拉杆40为细长杆件，拉杆40穿设于第一定位孔311。如图6所示，拉杆40可以设置有把持部410，把持部410位于拉杆40的远离支撑件20的一端。

如图1所示，挡板50与拉杆40的一端固定连接，挡板50抵接于第一侧板321与第二侧板322之间，挡板50与支撑件20之间形成用于夹持样品的夹持区212。

如图1所示，弹性件60套设于拉杆40且抵接于连接板310与挡板50之间。弹性件的作用是利用弹性件本身的弹性，使挡板具有远离连接板的张力，弹性件可以为多种形式，可以为弹簧、橡胶套等。作为本实施例的可选方案，弹性件60可以为弹簧，弹簧套设于拉杆40且抵接于连接板310与挡板50之间。

本实施例的夹具的连接方式为：第一支撑件250与基座10通过第二螺栓80固定连接，第二螺栓80穿过通孔251且与螺纹孔110啮合；第二支撑件260抵接于第一侧板321与第二侧板322之间，第二支撑件260可滑动地嵌设于侧板320设置的第一凹槽323内，第一螺栓70贯穿于侧板320并抵接于第二支撑件260；拉杆40穿设于连接板310的第一定位孔311，拉杆40的一端与挡板50固定连接，弹簧套设于拉杆40且抵接于连接板310和挡板50之间，挡板50与第二支撑件260之间形成夹持区212。

第一支撑件250与基座10的位置可以调节，根据实际的需求，第一支撑件250与基座10可以选取不同的螺纹孔110进行配合，当选取完配合位置后，用第二螺栓80将第一支撑件250固定于基座10。

夹持件30与第二支撑件260的相对位置也可以调节，根据实际的需求，夹持件30滑动至预定位置，用第一螺栓70固定夹持件30。

为了满足样品蒸镀高反膜过程中的导热性能，基座10、支撑件20、夹持件30及弹簧可以采用紫铜材料，拉杆40与挡板50可以采用聚四氟乙烯材料。

本实施例的工作原理：当对样品蒸镀高反膜时，用力往远离第二支撑件260的方向拉扯拉杆40，将样品贴着第二支撑件260的工作端面210放入夹持区212，至样品的一端与限位台211接触，然后缓慢放开拉杆40，借助弹簧的弹力使挡板50抵压住样品，完成样品的装夹。

挡板50的一端与限位台211接触，挡板50的另一端与第二支撑件260的远离第一支撑件250的一端平齐，即挡板的尺寸大于或等于样品的尺寸；第一侧板321与第二侧板322之间的距离与样品的尺寸一致。当样品放置于限位台211时，挡板50抵压样品，样品的非高反膜生长面被挡板50、侧板320、工作端面210及限位台211包围。

本实施例的有益效果：本实施例提供的用于夹持半导体器件的夹具，结构简单，便于样品装夹，能够保证样品非高反膜生长面上不生长高反膜，样品合格率高。

第二实施例

请参照图7，本实施例提供一种用于夹持半导体器件的夹具，相对于第一实施例，本实施例的第二支撑件260设置有第二凸台230，其余未提到部分与第一实施例相同或参照现有技术。

如图8所示，第二支撑件260的工作端面210设置有第二凸台230，第二凸台230为两个，分别位于工作端面210的两侧，第二凸台230的工作面与侧板320的工作面平齐，第二凸台230由第二支撑件260的工作端面210的一端延伸至限位台211，第二凸台230与限位台211围成用于放置样品的储物区240。为了满足样品蒸镀高反膜的需求，第二凸台230的宽度可以与限位台211的宽度一致，挡板50位于第二凸台230的工作面之间。

当对样品蒸镀高反膜时，样品可以沿第二凸台230滑入储物区240，第二凸台230能够限制样品移动，使样品能够按照正确的轨迹进入夹持区212。

相对于第一实施例，本实施例的第二支撑件260设置有第二凸台230，第二凸台230能够限制样品的移动，在样品进入储物区240时起到导向作用。

第三实施例

请参照图9，本实施例提供一种用于夹持半导体器件的夹具，该夹具的第二支撑件260设置有第二凹槽220，侧板320设置有第一凸台324，其余未提及部分与第一实施例相似或参照现有技术。

如图10所示，本实施例中，第二凹槽220设置于第二支撑件260的与侧板320连接的一侧；如图11所示，侧板320设置有第一凸台324。第一凸台324嵌设于第二凹槽220内，夹持件30与第二支撑件260通过第一螺栓70连接。侧板320设置的第一凸台324能够在第二凹槽220内滑动，可以根据实际需求，将侧板320滑动至预定位置，用第一螺栓70固定夹持件30。

相对于第一实施例，本实施例的第二支撑件260设置有第二凹槽220，侧板320设置有第一凸台324，侧板320嵌设于第二凹槽220内，这种结构可以使侧板320更好地与第二支撑件260连接，使样品滑入夹持区212时更顺畅，挡板50与限位台211围成的夹持区212能够保证。

综上所述，本实用新型提供的一种用于生长半导体高反膜的夹具，结构简单，便于样品装夹，在样品蒸镀高反膜时，能够保证样品的非高反膜生长面上不生长高反膜，使得样品合格率高。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。