一种用于夹持半导体器件的夹具的制作方法

文档序号:12088777阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,包括基座、支撑件、夹持件、拉杆、挡板及弹性件;

所述支撑件固定设置于所述基座且设置有用于放置样品的工作端面,所述工作端面相对于所述基座的端面倾斜,所述工作端面设置有用于支撑样品的限位台;

所述夹持件包括连接板和侧板,所述连接板与所述侧板连接,所述侧板与所述支撑件连接;

所述连接板开设有第一定位孔,所述拉杆穿设于所述第一定位孔,所述拉杆的一端与所述挡板固定连接,所述弹性件套设于所述拉杆且抵接于所述连接板和所述挡板之间,所述挡板与所述支撑件之间形成用于夹持样品的夹持区。

2.根据权利要求1所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述侧板包括相对设置的第一侧板和第二侧板,所述第一侧板位于所述连接板的一侧,所述第二侧板位于所述连接板的另一侧,所述支撑件抵接于所述第一侧板和所述第二侧板之间。

3.根据权利要求2所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述侧板设置有第一凹槽,所述支撑件可滑动地嵌设于所述第一凹槽内,所述夹持件与所述支撑件通过第一螺栓连接,所述第一螺栓贯穿侧板且抵接于所述支撑件。

4.根据权利要求2所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述支撑件的与所述侧板连接的一侧设置有第二凹槽,所述侧板设置有第一凸台,所述第一凸台嵌设于所述第二凹槽内,所述夹持件与所述支撑件通过第一螺栓连接,所述第一螺栓贯穿侧板且抵接于所述支撑件。

5.根据权利要求1所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述工作端面设置有第二凸台,所述第二凸台与所述限位台围成用于放置样品的储物区。

6.根据权利要求1所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述支撑件包括第一支撑件和第二支撑件,所述第一支撑件相对于所述第二支撑件倾斜,所述工作端面位于所述第二支撑件,所述第一支撑件与所述基座通过第二螺栓固定连接,所述第一支撑件开设有至少两个通孔,所述基座开设有至少两个与所述通孔对应的螺纹孔,所述第二螺栓穿过所述通孔且与所述螺纹孔啮合。

7.根据权利要求1所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述弹性件为弹簧,所述弹簧套设于所述拉杆并位于所述挡板与所述连接板之间。

8.根据权利要求1所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述拉杆设置有把持部,所述把持部位于所述拉杆的远离所述挡板的一端。

9.根据权利要求1所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述基座为具有第二定位孔的圆形基座,所述第二定位孔的数量至少为三个。

10.根据权利要求1所述的用于夹持半导体器件的夹具,其特征在于,所述基座为具有第二定位孔的方形基座,所述第二定位孔的数量至少为三个。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1