一种蓝宝石晶片的退火治具的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12121372

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一种蓝宝石晶片的退火治具(一)技术领域本实用新型属于蓝宝石加工技术领域,尤其涉及一种蓝宝石晶片的退火治具。(二)背景技术蓝宝石具有优异的机械、化学、光学、电学等综合性能,被广泛应用于耐高温器件、特种窗口、光学系统、微电子、光电子等方面,成为现代工业中重要的基础材料。近年来,蓝宝石更是引起了人们极大的关注,除了已经大量用作氮化镓基蓝光LED的衬底外,消费类电子方面也显示出广阔的市场前景。蓝宝石晶体在生长和晶片加工过程中,内部都会有应力存在,使蓝宝石的光学、机械等性能发生变化。因此,通常在使用前需要...
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