一种增强器件抗静电能力的LED 外延生长方法与流程技术资料下载

技术编号:12129709

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一种增强器件抗静电能力的LED外延生长方法技术领域本申请涉及LED外延设计应用技术领域,具体地说,涉及一种增强器件抗静电能力的LED外延生长方法。背景技术LED(LightEmittingDiode,发光二极管)是一种固体照明,体积小、耗电量低使用寿命长高亮度、环保、坚固耐用等优点受到广大消费者认可,国内生产LED的规模也在逐步扩大。目前国内MOCVD外延生长技术涵盖LED行业技术的70%左右,如何生长更好的外延片日益受到重视,高质量的外延片需求日益增加,因为外延层晶体质量的提高,LED器件的性...
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