技术编号：12180399
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件领域，尤其涉及一种X射线传感器及其制造方法。背景技术X射线探测器是一种将X射线能量转换为可供记录的电信号的装置，在X射线光源聚焦后，穿过待测样品后的X射线通过X射线传感器转换为可供记录的电信号，而后通过信号处理进行成像。目前，半导体器件的探测器由于其体积小、速度快、便于信息处理以及设计灵活等优点，得到了广泛的应用，成为探测器市场的主流。硅基像素探测器是目前常用的一种X射线传感器，主要包括PIN二极管器件的像素阵列，通过铟柱将传感器像素单元的电极与读芯片封装，形成硅基探测器，该...
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