技术编号:12183671
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域,具体涉及一种直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置。背景技术为了节约直拉法生产单晶硅成本,单晶硅生产领域一般采用多次加料拉制多根的方式,现大多使用长度为1米、直径为200毫米的加料器,将单晶棒切方后产生的边皮料进行破碎、清洗后装入加料器中,通过直拉法单晶炉副室隔离、副室净化的方式加入石英坩埚内。而在对单晶棒切方后产生的边皮料破碎清洗及装入加料器过程中会造成边皮复拉料多次污染,而且在将复拉料加入坩埚内的过程中容易造成溅硅,影响成晶及单晶品质。实用新型内容本实...
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