直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置的制作方法

文档序号:12183671阅读:774来源:国知局
直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置的制作方法

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域,具体涉及一种直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置。



背景技术:

为了节约直拉法生产单晶硅成本,单晶硅生产领域一般采用多次加料拉制多根的方式,现大多使用长度为1米、直径为200毫米的加料器,将单晶棒切方后产生的边皮料进行破碎、清洗后装入加料器中,通过直拉法单晶炉副室隔离、副室净化的方式加入石英坩埚内。而在对单晶棒切方后产生的边皮料破碎清洗及装入加料器过程中会造成边皮复拉料多次污染,而且在将复拉料加入坩埚内的过程中容易造成溅硅,影响成晶及单晶品质。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置,克服了现有的加料过程中存在的原料污染及容易溅硅的缺点。

本实用新型所采用的技术方案是:直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置,包括挂件、连接杆上部开孔的边皮复拉料A,挂件的上部通过穿过挂件的销钉与单晶炉上轴钢丝绳相连,连接杆穿过边皮复拉料A的孔将其悬挂于挂件。

本实用新型的特点还在于,

还包括连接硅棒和至少一块边皮复拉料B,边皮复拉料A的下部也开有孔,至少一块边皮复拉料B的上部和下部都开有孔,连接硅棒穿过孔将所述边皮复拉料A和至少一块边皮复拉料B首尾相连悬挂。

销钉为钼销钉,挂件为不锈钢挂件,连接杆为钼连接杆,连接硅棒为单晶硅棒。

本实用新型的有益效果是:本实用新型的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置克服了现有的加料过程中存在的原料污染及容易溅硅的缺点。本实用新型的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置将单晶棒切片后产生的多块边皮复拉料收尾不经过破碎、清洗工序,而且将其收尾相连悬挂连接后,利用单晶炉上轴钢丝绳和挂件将上述边皮复拉料缓慢投入石英坩埚的熔硅中,不但避免了拉晶原料的二次污染,而且投料过程轻柔缓慢,避免了溅硅,从而提高了成晶率和单晶品质。

附图说明

图1是本实用新型的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置的立体结构示意图;

图2是本实用新型的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置的结构剖视图;

图3是本实用新型的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置连接边皮复拉料的状态剖视图;

图4是本实用新型的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置安装于单晶炉中的使用状态图。

图中,1.销钉,2.挂件,3.连接杆,4.边皮复拉料A,5.边皮复拉料B,6.连接硅棒,7.单晶炉上轴钢丝绳,8.单晶炉,9.石英坩埚,10.加热器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

本实用新型提供的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置如图1和图2所示,包括挂件2、连接杆3上部开孔的边皮复拉料A4,挂件2 的上部通过穿过挂件2的销钉1与单晶炉上轴钢丝绳7相连,连接杆3穿过边皮复拉料A4的孔将其悬挂于挂件2。

如图3所示,本实用新型的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置还包括连接硅棒6和至少一块边皮复拉料B5,边皮复拉料A4的下部也开有孔,至少一块边皮复拉料B5的上部和下部都开有孔,连接硅棒6穿过孔将边皮复拉料A4和至少一块边皮复拉料B5首尾相连悬挂。

事例性的,销钉1为钼销钉,其作用为连接挂件2和单晶炉上轴钢丝绳7;挂件2为不锈钢挂件,其上端连接单晶硅炉上轴钢丝绳7,下端连接悬挂单晶棒切方后产生的多块边皮复拉料;连接杆3为钼连接杆,其作用为连接单晶棒切方后产生的边皮复拉料A和挂件2,连接硅棒6为单晶硅棒,其作用为单晶棒切方后产生的多块边皮复拉料首尾之间的连接。显而易见,边皮复拉料A和边皮复拉料B的结构相同,只是边皮复拉料A通过连接杆3悬挂于挂件,边皮复拉料A的下部开孔和边皮复拉料B的上部开孔通过连接硅棒6相连,多块边皮复拉料B上的开孔也通过连接硅棒6首尾相连悬挂。

本实用新型的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置安装于单晶炉中的使用状态如图4所示,实际组装时,将销钉1连接单晶炉上轴钢丝绳7,然后将两块边皮复拉料A通过连接杆3并排挂在挂件2中间,进一步将两块边皮复拉料B5通过连接硅棒6与边皮复拉料A下端的孔并排连接,进一步将四块边皮复拉料B5通过连接硅棒6与上述两块边皮复拉料B5下端的孔连接,具体地,位于上方的每块边皮复拉料B5的下部两侧各连接一块下方的边皮复拉料B5上部;单晶炉8包括设置于其内的加热器10和石英坩埚9,将组装好的直拉法生产单晶硅用整块边皮复拉料加料装置缓慢下降,将多块整体的边皮复拉料加入到石英坩埚9的熔硅中,直至 挂件2接近熔硅液面则拔掉连接杆2使最后剩余的边皮复拉料A也滑入熔硅则完成加料工作。

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