技术编号:12183698
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器,属于ALD多晶铸锭炉技术领域。背景技术ALD多晶铸锭炉结构分别为顶底加热、顶侧加热及顶侧底加热,铸锭工艺为熔化、长晶、退火、冷却四个阶段,影响硅片质量的关键在长晶阶段,即加热器结构及均匀性直接影响硅片质量。现有ALD多晶铸锭炉采用顶底加热方式进行铸锭,其加热器采用棒式结构,加热棒通过长短石墨连接块连接而成,采用两组并联再串联的方式形成电流回路,加热块并联后再串联而成,串联处形成电流汇集点,导致此区域发热量较大,从而对硅锭质量产生不利影响,首先表现在铸...
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