本实用新型涉及一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器，属于ALD多晶铸锭炉技术领域。
背景技术：
ALD多晶铸锭炉结构分别为顶底加热、顶侧加热及顶侧底加热，铸锭工艺为熔化、长晶、退火、冷却四个阶段，影响硅片质量的关键在长晶阶段，即加热器结构及均匀性直接影响硅片质量。现有ALD多晶铸锭炉采用顶底加热方式进行铸锭，其加热器采用棒式结构，加热棒通过长短石墨连接块连接而成，采用两组并联再串联的方式形成电流回路，加热块并联后再串联而成，串联处形成电流汇集点，导致此区域发热量较大，从而对硅锭质量产生不利影响，首先表现在铸锭过程中此区域对应的籽晶无法完全保留，硅液不能在籽晶上形核，使得形核初期位错等缺陷显著增加。其次是导致长晶过程中横向温度梯度不均匀，影响热对流及杂质分布，从而使长晶过程中的位错、杂质等缺陷增加，影响硅片质量。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是提供一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器，可以改善ALD多晶铸锭炉加热器局部过热问题。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器，包括长石墨连接块和两根短石墨连接块，长石墨连接块与两根短石墨连接块之间通过多根石墨加热棒连接，各根石墨加热棒是相互平行排列，长石墨连接块的中部较粗、两端较细；连接在长石墨连接块中部的石墨加热棒电阻值较小，连接在长石墨连接块两端的石墨加热棒电阻值较大。
本实用新型的有益效果为：通过改变加热棒电阻及石墨连接块尺寸形状，使加热器电阻分布更合理，消除加热器局部发热量过大问题，使加热器各部分温度分布更均匀，有利于保留籽晶，同时形成均匀的横向温度梯度，从而减少硅片的位错等缺陷，提高硅片的电池转换效率。
附图说明
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明：
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器，包括长石墨连接块1和两根短石墨连接块2，长石墨连接块1与两根短石墨连接块2之间通过多根石墨加热棒3连接，短石墨连接块2与石墨电极柱相连以接通电源，各根石墨加热棒3是相互平行排列，长石墨连接块1的中部较粗、两端较细；连接在长石墨连接块1中部的石墨加热棒3电阻值较小，连接在长石墨连接块1两端的石墨加热棒3电阻值较大，长石墨连接块1中部电阻小于两端电阻，接通电源后中间电流汇集区域发热量会减小，长石墨连接块1中部石墨加热棒3的电阻值大于两端石墨加热棒3的电阻值可使得各加热棒功率差异接近，从而消除局部过热问题。
所述长石墨连接块1的尺寸为：长在780到800毫米之间、宽在45到55毫米之间、高在45到55毫米之间；长石墨连接块1较粗中部的尺寸为：长在350到400毫米之间、宽在45到55毫米之间、高在100到120毫米之间。
所述石墨加热棒3具有8根，其中的4根石墨加热棒3连接在长石墨连接块1的中部，另外4根石墨加热棒3两根为一组分别连接在长石墨连接块1的两端，连接在长石墨连接块1的中部的4根石墨加热棒3的电阻值在61毫欧到63毫欧之间；位于长石墨连接块1最外侧的两根石墨加热棒3的电阻值在66毫欧到68毫欧之间；另外2根石墨加热棒3的电阻值在64毫欧到66毫欧之间。
综上所述：通过改变加热棒电阻及石墨连接块尺寸形状，使加热器电阻分布更合理，消除加热器局部发热量过大问题，使加热器各部分温度分布更均匀，有利于保留籽晶，同时形成均匀的横向温度梯度，从而减少硅片的位错等缺陷，提高硅片的电池转换效率。