一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器的制作方法

文档序号:12183698阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器,包括长石墨连接块(1)和两根短石墨连接块(2),长石墨连接块(1)与两根短石墨连接块(2)之间通过多根石墨加热棒(3)连接,各根石墨加热棒(3)是相互平行排列,其特征在于:长石墨连接块(1)的中部较粗、两端较细;连接在长石墨连接块(1)中部的石墨加热棒(3)电阻值较小,连接在长石墨连接块(1)两端的石墨加热棒(3)电阻值较大。

2.根据权利要求1所述的一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器,其特征在于:所述长石墨连接块(1)的尺寸为:长在780到800毫米之间、宽在45到55毫米之间、高在45到55毫米之间;长石墨连接块(1)较粗中部的尺寸为:长在350到400毫米之间、宽在45到55毫米之间、高在100到120毫米之间。

3.根据权利要求1或2所述的一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器,其特征在于:所述石墨加热棒(3)具有8根,其中的4根石墨加热棒(3)连接在长石墨连接块(1)的中部,另外4根石墨加热棒(3)两根为一组分别连接在长石墨连接块(1)的两端,连接在长石墨连接块(1)的中部的4根石墨加热棒(3)的电阻值在61毫欧到63毫欧之间;位于长石墨连接块(1)最外侧的两根石墨加热棒(3)的电阻值在66毫欧到68毫欧之间;另外2根石墨加热棒(3)的电阻值在64毫欧到66毫欧之间。

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