技术总结
一种ALD多晶铸锭炉棒式加热器，包括长石墨连接块和两根短石墨连接块，长石墨连接块与两根短石墨连接块之间通过多根石墨加热棒连接，各根石墨加热棒是相互平行排列，长石墨连接块的中部较粗、两端较细；连接在长石墨连接块中部的石墨加热棒电阻值较大，连接在长石墨连接块两端的石墨加热棒电阻值较小，本实用新型可以改善ALD多晶铸锭炉加热器局部过热问题。
技术研发人员：李旭敏;程达;周晓康;陈发勤;梁学勤;李宏
受保护的技术使用者：宜昌南玻硅材料有限公司
文档号码：201621014699
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2017.03.15