技术编号：12194217
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种云母输能窗气密性检测装置，属于太赫兹器件制造技术领域。背景技术太赫兹频率介于微波与红外之间，其系统兼顾电子学系统和光学系统的优势，被誉为继微波、光波后人类进一步认知世界、自然的“第三只眼睛”。太赫兹器件技术得到世界各国相关科研机构许多专家的关注和研究。由于云母高频介质损耗小，在特高频下具有优良的透过性，同时又有较好的封接特性，所以被用来制作太赫兹器件的高频输能窗。目前云母输能窗的制作工艺是采用玻璃焊料法封接，将云母片通过低温玻璃粉与玻璃管封装，在马弗炉里经过高温焊接完成。由于玻...
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