一种云母输能窗气密性检测装置的制作方法

本实用新型涉及一种云母输能窗气密性检测装置，属于太赫兹器件制造技术领域。

背景技术：

太赫兹频率介于微波与红外之间，其系统兼顾电子学系统和光学系统的优势，被誉为继微波、光波后人类进一步认知世界、自然的“第三只眼睛”。太赫兹器件技术得到世界各国相关科研机构许多专家的关注和研究。由于云母高频介质损耗小，在特高频下具有优良的透过性，同时又有较好的封接特性，所以被用来制作太赫兹器件的高频输能窗。目前云母输能窗的制作工艺是采用玻璃焊料法封接，将云母片通过低温玻璃粉与玻璃管封装，在马弗炉里经过高温焊接完成。由于玻璃的特殊性，在焊接时若产生的内应力较大，同时又因云母片厚度较薄，在后期的真空气密性检测过程中，输能窗内外气压差的存在会将云母片吸成凹面状，封口容易出现开裂，破坏真空，使输能窗产生漏气现象，造成产品的报废。

技术实现要素：

目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种云母输能窗气密性检测装置。

技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种云母输能窗气密性检测装置，其特征在于：包括基座1、支撑导柱2；所述基座1包括圆柱形底座11、凸面台阶12；所述圆柱形底座11底部加工有十字交叉状的槽口14，所述凸面台阶12外壁加工有螺牙，基座1中心加工有通孔13；所述支撑导柱2包括圆柱本体21，及与圆柱本体有相同轴心的凹槽22，所述圆柱本体21中心加工有通孔23，所述凹槽22内壁加工有与凸面台阶12外壁相匹配的螺牙；所述支撑导柱2与基座1套接组装。

有益效果：本实用新型提供的一种云母输能窗气密性检测装置，结构轻巧，使用方便，且具有纵向尺寸调节功能，可以满足不同高度尺寸云母输能窗的检测需求，避免云母输能窗在检测时发生云母片变形而导致窗漏气，减少云母输能窗的报废，降低了成本。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面示意图；

图2为本实用新型的基座的正视剖面示意图；

图3为本实用新型的基座底座的仰视示意图；

图4为本实用新型的支撑导柱的正视剖面示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。

如图1、图2、图3、图4所示，一种云母输能窗气密性检测装置，其特征在于：包括基座1、支撑导柱2；所述基座1包括圆柱形底座11、凸面台阶12；所述圆柱形底座11底部加工有十字交叉状的槽口14，所述凸面台阶12外壁加工有螺牙，基座1中心加工有通孔13；所述支撑导柱2包括圆柱本体21，及与圆柱本体有相同轴心的凹槽22，所述圆柱本体21中心加工有通孔23，所述凹槽22内壁加工有与凸面台阶12外壁相匹配的螺牙；所述支撑导柱2与基座1通过相匹配的螺牙套接组装。

优选实施方案：基座包括圆柱状底座、凸面台阶，圆柱外圆直径为Ф11mm，高度3mm；凸面台阶外壁加工有M6×0.75规格的螺牙，螺牙作用为调节支撑导柱（2）平面高度，通过旋进螺牙深度达到；凸面台阶高度5.5mm，基座中心加工有直径Ф2mm通孔，通孔作用为云母输能窗气密性检测时，氦气质谱检测仪抽气通道；底端面加工成十字交叉状的槽口，槽口宽度2mm，深度1.5mm，槽口的作用同样为抽气通道；基座1用金属材料不锈钢加工获得，不锈钢牌号为1Cr18Ni9Ti。

支撑导柱包括圆柱状本体、凹槽，圆柱外圆直径为Ф10.5mm，高度7mm；凹槽内加工有与基座1匹配的螺牙M6×0.75，螺牙作用为能够和基座1进行组装并能调节高度，凹槽深度5mm；中心加工有Ф2mm通孔，通孔作用为云母输能窗气密性检测时，氦气质谱检测仪抽气通道；支撑导柱2用金属材料不锈钢加工获得，不锈钢牌号为1Cr18Ni9Ti。

一种云母输能窗气密性检测装置具体使用方法如下：

如图1所示，将基座1放置于工作平台上，支撑导柱2通过M6×0.75螺牙旋进组装到基座1上，再将待检测的云母输能窗3放置在支撑导柱顶面上，通过旋拧支撑导柱2调节装置总高度，使得云母输能窗3的底面与装置基座1的底面在同一平面上，即完成气密性检测装置的调节，可以进行检测操作。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。