技术编号:12195309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置。背景技术在真空镀膜设备中,中频电源的电流波动对镀膜质量影响很大,如果不及时处理,会出现更多的残次品。而现有真空镀膜设备的中频电源没有设置电流监控装置,操作员无法及时发现电流波动,因此残次品较多。实用新型内容本实用新型旨在提供一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置,以解决现有真空镀膜设备的中频电源没有设置电流监控装置,操作员无法及时发现中频电源电流波动的问题。为此,本实用新型采用的具体方案如下:一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置,包括...
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