本实用新型涉及一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置。
背景技术：
在真空镀膜设备中，中频电源的电流波动对镀膜质量影响很大，如果不及时处理，会出现更多的残次品。而现有真空镀膜设备的中频电源没有设置电流监控装置，操作员无法及时发现电流波动，因此残次品较多。
技术实现要素：
本实用新型旨在提供一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置，以解决现有真空镀膜设备的中频电源没有设置电流监控装置，操作员无法及时发现中频电源电流波动的问题。为此，本实用新型采用的具体方案如下：
一种真空镀膜设备的中频电源的电流监控装置，包括电流测量显示装置和报警装置，所述电流测量显示装置串联到真空镀膜设备的中频电源的电流回路中，所述电流测量显示装置包括至少一个电流测量显示表及相应电流波动报警设置输出模块，所述电流波动报警设置输出模块与所述报警装置电连接。
进一步地，所述电流波动报警设置输出模块包括常开开关。
进一步地，所述电流测量显示表是数字式显示表。
进一步地，所述报警装置是声光一体报警装置。
进一步地，所述报警装置是声音报警装置或灯光报警装置。
本实用新型采用上述技术方案，具有的有益效果是：借助于本实用新型，能够直观从电流测量显示表看到真空镀膜设备的中频电源的电流，并且当电流波动超过预先设定的电流波动报警值时，能够发出声光报警，以提醒操作员及时进行处理，避免出现更多残次品。
附图说明
图1 示出了本实用新型的示意框图。
具体实施方式
为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图。这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理。配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点。图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。参照图1，电流监控装置1包括电流测量显示装置10和报警装置20，电流测量显示装置10串联到真空镀膜设备的中频电源2的电流回路中。电流测量显示装置1包括至少一个电流测量显示表110及相应电流波动报警设置输出模块120，即电流测量显示表110与电流波动报警设备模块120一一对应。一个电流测量显示表110和相应电流波动报警设置输出模块120对应于一个中频电源2。电流测量显示表110用于测量并显示中频电源2的电流，优选地，电流测量显示表110是数字式显示表。电流波动报警设置输出模块120包括常开开关1210。各常开开关1210先并联再串联到报警装置20的供电回路中，例如作为报警装置20的电源开关。电流波动报警设置输出模块120用于设置电流波动报警值，当电流波动超过电流波动报警值，常开开关1210闭合，报警装置20通电，发出报警。
优选地，报警装置20是声光一体报警装置。但在其它实施例中，报警装置20也可以是单独的声音报警装置或灯光报警装置。
借助于本实用新型，能够直观从电流测量显示表看到真空镀膜设备的中频电源的电流，并且当电流波动超过预先设定的电流波动报警值时，能够发出声光报警，以提醒操作员及时进行处理，避免出现更多残次品。
尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本实用新型，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本实用新型的精神和范围内，在形式上和细节上可以对本实用新型做出各种变化，均为本实用新型的保护范围。