技术编号：12196192
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种对位平台快速回原点装置，属于对位平台领域。背景技术高科技时代，进入奈米级的处理模式，对许多精密的产品于制程中有更高的要求，才能以最平稳的方式得到最高的产出，特别是光电及晶圆产业，其产品于x、y、θ的二.五维度的精密定位成为必备组件，习知已有于x轴上设置一套横向调整装置，再在y轴上设置一套纵向调整装置，最后于平面上设置一套旋转角度调整装置，层迭之下，便形成有相当高度的机构，层层间有误差，很难达到奈米级的要求，于是进一步提出种种改良结构，从三层式简化为单层式，一种并联式多轴同动的机...
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