一种对位平台快速回原点装置的制作方法

文档序号:12196192阅读:346来源:国知局

本实用新型涉及一种对位平台快速回原点装置,属于对位平台领域。



背景技术:

高科技时代,进入奈米级的处理模式,对许多精密的产品于制程中有更高的要求,才能以最平稳的方式得到最高的产出,特别是光电及晶圆产业,其产品于x、y、θ的二.五维度的精密定位成为必备组件,习知已有于x轴上设置一套横向调整装置,再在y轴上设置 一套纵向调整装置,最后于平面上设置一套旋转角度调整装置,层迭之下,便形成有相当高度的机构,层层间有误差,很难达到奈米级的要求,于是进一步提出种种改良结构,从三层式简化为单层式,一种并联式多轴同动的机构,被发展出来,最主要以导螺杆的方式带动,但是层迭之下,需要原点归位,平时原点归位采用的结构复杂,而且效果不是很好,因此,需要进一步改进。



技术实现要素:

本实用新型要解决的技术问题克服现有的缺陷,提供一种对位平台快速回原点装置,通过步进电机带动传动机构使滚轴转动,从而使移动片移动,移动片上的挡板在移动过程中会遮挡原点光眼,进而决定回原点的方向,结构简单,设计合理,实用性强,可以有效解决背景技术中的问题。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:

一种对位平台快速回原点装置,包括移动台安装座,所述移动台安装座底部设有底座,所述移动台安装座一侧设有开口,所述移动安装座内腔设有滚轴,且所述滚轴穿过开口,所述滚轴一端连接传动机构,所述传动机构通过圆孔连接步进电机,所述滚轴顶部设有移动片,所述移动片一侧连接挡板,所述挡板下方均匀设有若干光眼片,所述光眼片一侧设有缺口,所述缺口内腔底部还设有原点光眼。

进一步而言,所述移动安装座顶部设有可旋转移动台。

进一步而言,所述原点光眼通过导线电性连接回原点控制器。

进一步而言,所述可旋转移动台顶部还设有盖板。

进一步而言,所述盖板与底座之间通过固定块固定连接。

本实用新型有益效果:通过步进电机带动传动机构使滚轴转动,从而使移动片移动,移动片上的挡板在移动过程中会遮挡原点光眼,进而决定回原点的方向,结构简单,设计合理,实用性强。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。

图1是本实用新型一种对位平台快速回原点装置结构图。

图中标号:1、移动台安装座;2、底座;3、滚轴;4、传动机构;5、圆孔;6、步进电机;7、移动片;8、挡板;9、光眼片;10、缺口;11、原点光眼;12、可旋转移动台;13、盖板;14、固定块。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

如图1所示,一种对位平台快速回原点装置,包括移动台安装座1,所述移动台安装座1底部设有底座2,通过底座2可对移动台安装座1进行支撑,所述移动台安装座1一侧设有开口,所述移动安装座1内腔设有滚轴3,通过滚轴3可对移动片7进行来回移动,且所述滚轴3穿过开口,所述滚轴3一端连接传动机构4,通过传动机构4可以使滚轴3滚动,所述传动机构4通过圆孔5连接步进电机6,通过步进电机6可以带动传动机构4,所述滚轴3顶部设有移动片7,所述移动片7一侧连接挡板8,通过挡板8可对光眼片9进行遮挡,所述挡板8下方均匀设有若干光眼片9,通过光眼片9可对原点光眼11进行支撑,所述光眼片9一侧设有缺口10,所述缺口10内腔底部还设有原点光眼11,通过原点光眼11是否被遮挡决定回原点的方向,所述移动安装座1顶部设有可旋转移动台12,通过可旋转移动台12可进行位置调节,所述原点光眼11通过导线电性连接回原点控制器,通过原点光眼11是否遮挡决定回原点的方向,所述可旋转移动台12顶部还设有盖板13,通过盖板13可增强机器的稳固性,所述盖板13与底座2之间通过固定块14固定连接,进一步增强稳固性,不易发生位移,通过步进电机6带动传动机构4使滚轴9转动,从而使移动片7移动,移动片7上的挡板8在移动过程中会遮挡原点光眼11,进而决定回原点的方向,结构简单,设计合理,实用性强。

以上为本实用新型较佳的实施方式,本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改,因此,本实用新型并不局限于上述的具体实施方式,凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。

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