技术编号：12203229
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路的生产车间相关技术领域，特别涉及集成电路生产车间的除尘系统。背景技术集成电路的生产车间，必须保证无尘、无菌环境。现有的车间中，采用墙壁及顶部抽尘、换气系统，由于灰尘主要产生于人体脚部及靠近地面的位置，这种抽尘换气方式，对保证车间的无尘环境的效果不佳。发明内容针对现有技术存在的上述问题，申请人进行研究及改进，提供一种集成电路生产车间用地面抽尘装置，采用地面抽吸灰尘的方式，提高灰尘的抽吸效果。为了解决上述问题，本发明采用如下方案：一种集成电路生产车间用地面抽尘装置，包括通过纵横梁支...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。