集成电路生产车间用地面抽尘装置的制作方法

文档序号:12203229阅读:183来源:国知局

本发明涉及集成电路的生产车间相关技术领域,特别涉及集成电路生产车间的除尘系统。



背景技术:

集成电路的生产车间,必须保证无尘、无菌环境。现有的车间中,采用墙壁及顶部抽尘、换气系统,由于灰尘主要产生于人体脚部及靠近地面的位置,这种抽尘换气方式,对保证车间的无尘环境的效果不佳。



技术实现要素:

针对现有技术存在的上述问题,申请人进行研究及改进,提供一种集成电路生产车间用地面抽尘装置,采用地面抽吸灰尘的方式,提高灰尘的抽吸效果。

为了解决上述问题,本发明采用如下方案:

一种集成电路生产车间用地面抽尘装置,包括通过纵横梁支撑的抽吸板,所述抽吸板上均布有微抽吸孔,位于微抽吸孔的下方,所述纵横梁的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管,所述抽吸管的管壁上设有吸尘孔,所述抽吸管上设有独立的控制阀并连接吸尘设备。

本发明的技术效果在于:

本发明采用地面抽吸方式,对集中靠近地面的灰尘进行抽吸,其抽吸效果好,效率高。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中:1、纵横梁;2、抽吸板;3、微抽吸孔;4、抽吸管。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。

如图1所示,本实施例的集成电路生产车间用地面抽尘装置,包括通过纵横梁1支撑的抽吸板2,抽吸板2上均布有微抽吸孔3,位于微抽吸孔3的下方,纵横梁1的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管4,抽吸管4的管壁上设有吸尘孔,抽吸管4上设有独立的控制阀并连接吸尘设备。本发明采用地面抽吸方式,对集中靠近地面的灰尘进行抽吸,其抽吸效果好,效率高。

以上所举实施例为本发明的较佳实施方式,仅用来方便说明本发明,并非对本发明作任何形式上的限制,任何所属技术领域中具有通常知识者,若在不脱离本发明所提技术特征的范围内,利用本发明所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例,并且未脱离本发明的技术特征内容,均仍属于本发明技术特征的范围内。

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