技术编号：12214396
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及蓝宝石衬底加工技术领域，具体为一种蓝宝石衬底抛光装置。背景技术随着高亮度LED在照明工程领域需求量的急剧增长，带动了国内蓝宝石衬底材料制备产业的发展。由于蓝宝石晶体具有耐高温、耐腐蚀、透光波段宽等显著特点，是外延长的首选衬底材料，但也正是由于蓝宝石硬度极高、脆性大、化学性质稳定的特点，给材料加工，尤其是晶片表面纳米级抛光在技术上带来很多困难，为应对光电技术的发展对产品衬底材料表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对蓝宝石衬底进行精细抛光，抛光时需要使抛光盘与蓝宝石衬底贴合以产生压力进...
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