一种蓝宝石衬底抛光装置的制作方法

本实用新型涉及蓝宝石衬底加工技术领域，具体为一种蓝宝石衬底抛光装置。

背景技术：

随着高亮度LED在照明工程领域需求量的急剧增长，带动了国内蓝宝石衬底材料制备产业的发展。由于蓝宝石晶体具有耐高温、耐腐蚀、透光波段宽等显著特点，是外延长的首选衬底材料，但也正是由于蓝宝石硬度极高、脆性大、化学性质稳定的特点，给材料加工，尤其是晶片表面纳米级抛光在技术上带来很多困难，为应对光电技术的发展对产品衬底材料表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对蓝宝石衬底进行精细抛光，抛光时需要使抛光盘与蓝宝石衬底贴合以产生压力进行抛光，但是由于蓝宝石衬底材质较脆，在对其进行抛光的时候要注意，传统的蓝宝石衬底抛光机对蓝宝石衬底的固定不够好，在对蓝宝石衬底进行抛光时可能会导致其发生损坏，导致报废，造成经济损失，而且传统的抛光机不能调节抛光盘与蓝宝石衬底贴合程度。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石衬底抛光装置，具备对蓝宝石衬底固定效果好的优点，解决了传统抛光机对蓝宝石衬底固定效果不好的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种蓝宝石衬底抛光装置，包括底座，所述底座的顶部设置有固定架，所述固定架的顶部开设有第一通孔，所述第一通孔的内部设置有轴承，所述固定架的顶部还设置有电机支架，所述电机支架的内部设置有电机。

所述固定架的内部设置有置物板，所述置物板上开设有第二通孔，所述置物板的上表面开设有滑槽，所述滑槽的内部设置有滑块，所述滑块的一侧面与滑槽的内侧壁之间设置有间隙，间隙内设置有第一弹簧，所述滑槽的内底壁开设有凹槽。

所述固定架的内部还设置有定位杆，所述定位杆的一端与底座的上表面固定连接，所述定位杆的另一端延伸出第二通孔并设置有限位块，所述限位块的下表面与置物板的上表面接触，所述定位杆的外表面设置有限位螺母，所述定位杆的外表面还套接有第二弹簧，所述固定架的内部还设置有转动轴，所述转动轴的一端设置有抛光盘，所述转动轴的外表面与轴承的内表面固定连接，所述转动轴的另一端延伸出第一通孔与电机的输出端通过联轴器固定连接。

优选的，所述凹槽的截面呈三角形状，所述凹槽的内部设置有防滑块，所述防滑块为橡胶防滑块。

优选的，四个所述第二通孔以两两对称的形式设置在置物板上，四个所述定位杆的外表面分别与四个所述第二通孔的内表面接触。

优选的，所述定位杆的外表面还设置有螺纹，所述限位螺母的内表面与定位杆的外表面螺纹连接。

优选的，所述第二弹簧的顶部与置物板的下表面固定连接，所述第二弹簧的底部与限位螺母的上表面接触。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过在置物板的上表面开设有滑槽，滑槽的内部设置有滑块，滑块的一侧面与滑槽的内侧壁之间设置有间隙，间隙内设置有第一弹簧，能够对不同大小的蓝宝石衬底起到很好的紧固效果，滑槽的内底壁开设有凹槽，凹槽的内部设置有防滑块，橡胶防滑块能够防止蓝宝石衬底在置物板上发生移动，达到了对蓝宝石衬底很好的固定的效果。

2、本实用新型通过定位杆的另一端延伸出第二通孔并设置有限位块，所述限位块的下表面与置物板的上表面接触，防止定位杆从第二通孔内脱落，定位杆的外表面设置有限位螺母，定位杆的外表面还套接有第二弹簧，第二弹簧的顶部与置物板的下表面固定连接，第二弹簧的底部与限位螺母的上表面接触，通过调节限位螺母的位置改变第二弹簧的伸缩长度，以改变抛光盘与衬底之间的贴合程度，从而有效的解决了传统的抛光机不能调节抛光盘与蓝宝石衬底贴合程度的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型置物板剖面图；

图3为本实用新型置物板结构示意图。

图中：1底座、2固定架、3第一通孔、4轴承、5电机支架、6电机、7置物板、8第二通孔、9滑槽、10滑块、11第一弹簧、12凹槽、13防滑块、14定位杆、15限位块、16限位螺母、17第二弹簧、18转动轴、19抛光盘、20联轴器、21螺纹。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，一种蓝宝石衬底抛光装置，包括底座1，底座1的顶部设置有固定架2，固定架2的顶部开设有第一通孔3，第一通孔3的内部设置有轴承4，固定架2的顶部还设置有电机支架5，电机支架5的内部设置有电机6。

请参阅图1-3，固定架2的内部设置有置物板7，置物板7上开设有第二通孔8，四个第二通孔8以两两对称的形式设置在置物板7上，第二通孔8开设在置物板7的四角，使定位杆14对置物板7的稳定效果更好，有效的避免置物板7在蓝宝石衬底抛光过程中发生错位的情况，置物板7的上表面开设有滑槽9，滑槽9的内部设置有滑块10，滑块10的一侧面与滑槽9的内侧壁之间设置有间隙，间隙内设置有第一弹簧11，能够对不同大小的蓝宝石衬底起到很好的紧固效果，滑槽9的内底壁开设有凹槽12，凹槽12的内部设置有防滑块13，凹槽12的截面呈三角形状，防滑块13为橡胶防滑块，三角形的稳定性最好，配合三角形的橡胶防滑块，能够对蓝宝石衬底起到更好的防滑固定作用，而且橡胶有很好的减震效果，能够降低蓝宝石衬底在抛光时所受到的振动，避免因为振动造成损坏，达到了对蓝宝石衬底很好的固定的效果。

固定架2的内部还设置有定位杆14，定位杆14的一端与底座1的上表面固定连接，定位杆14的另一端延伸出第二通孔8并设置有限位块15，防止定位杆14从第二通孔8内脱落，四个定位杆14的外表面分别与四个第二通孔8的内表面接触，限位块15的下表面与置物板7的上表面接触，定位杆14的外表面设置有限位螺母16，定位杆14的外表面还套接有第二弹簧17，第二弹簧17的顶部与置物板7的下表面固定连接，第二弹簧17的底部与限位螺母16的上表面接触，定位杆14的外表面还设置有螺纹21，限位螺母16的内表面与定位杆14的外表面螺纹连接，用户可以通过改变限位螺母16的位置，以改变第二弹簧17的伸缩长度达到调节蓝宝石衬底与抛光盘19之间的贴合程度，第二弹簧17的设置即能够用来调节蓝宝石衬底与抛光盘19之间的压力，又能避免抛光盘19与蓝宝石衬底之间压力过大导致衬底损坏的情况，有效的解决了传统的抛光机不能调节抛光盘19与蓝宝石衬底贴合程度的问题，固定架2的内部还设置有转动轴18，转动轴18的一端设置有抛光盘19，转动轴18的外表面与轴承4的内表面固定连接，转动轴18的另一端延伸出第一通孔3与电机6的输出端通过联轴器20固定连接。

工作原理：将需要抛光的蓝宝石衬底通过滑块10和第一弹簧11固定在置物板7上表面的滑槽9内，根据抛光需要的压力调节限位螺母16的位置，启动电机6，对衬底进行打磨。

综上所述：该蓝宝石衬底抛光装置，通过在置物板7的上表面开设有滑槽9，滑槽9的内部设置有滑块10，滑块10的一侧面与滑槽9的内侧壁之间设置有间隙，间隙内设置有第一弹簧11，滑槽9的内底壁开设有凹槽12，凹槽12的内部设置有防滑块13，解决了传统抛光机对蓝宝石衬底固定性不好的问题。

通过定位杆14的另一端延伸出第二通孔8并设置有限位块15，所述限位块15的下表面与置物板7的上表面接触，定位杆14的外表面设置有限位螺母16，定位杆14的外表面还套接有第二弹簧17，第二弹簧17的顶部与置物板7的下表面固定连接，第二弹簧17的底部与限位螺母16的上表面接触，解决了传统的抛光机不能调节抛光盘与蓝宝石衬底贴合程度的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。