一种蓝宝石衬底抛光装置的制作方法

文档序号:12214396阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种蓝宝石衬底抛光装置,包括底座,所述底座的顶部设置有固定架,所述固定架的顶部开设有第一通孔,所述第一通孔的内部设置有轴承,所述固定架的顶部还设置有电机支架,所述电机支架的内部设置有电机,所述固定架的内部设置有置物板,所述置物板上开设有第二通孔,所述置物板的上表面开设有滑槽,所述滑槽的内部设置有滑块,所述滑块的一侧面与滑槽的内侧壁之间设置有间隙,间隙内设置有第一弹簧,所述滑槽的内底壁开设有凹槽,所述固定架的内部还设置有定位杆,所述定位杆的一端与底座的上表面固定连接。本实用新型,能够防止蓝宝石衬底在置物板上发生移动,能够改变抛光盘与衬底之间的贴合程度。

技术研发人员:秦国强;林良坤;钟国庆;赵如璇
受保护的技术使用者:福建晶安光电有限公司
文档号码:201620951807
技术研发日:2016.08.27
技术公布日:2017.02.22

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