一种蓝宝石衬底抛光装置的制作方法

文档序号:12214396阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蓝宝石衬底抛光装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部设置有固定架(2),所述固定架(2)的顶部开设有第一通孔(3),所述第一通孔(3)的内部设置有轴承(4),所述固定架(2)的顶部还设置有电机支架(5),所述电机支架(5)的内部设置有电机(6);

所述固定架(2)的内部设置有置物板(7),所述置物板(7)上开设有第二通孔(8),所述置物板(7)的上表面开设有滑槽(9),所述滑槽(9)的内部设置有滑块(10),所述滑块(10)的一侧面与滑槽(9)的内侧壁之间设置有间隙,间隙内设置有第一弹簧(11),所述滑槽(9)的内底壁开设有凹槽(12);

所述固定架(2)的内部还设置有定位杆(14),所述定位杆(14)的一端与底座(1)的上表面固定连接,所述定位杆(14)的另一端延伸出第二通孔(8)并设置有限位块(15),所述限位块(15)的下表面与置物板(7)的上表面接触,所述定位杆(14)的外表面设置有限位螺母(16),所述定位杆(14)的外表面还套接有第二弹簧(17),所述固定架(2)的内部还设置有转动轴(18),所述转动轴(18)的一端设置有抛光盘(19),所述转动轴(18)的外表面与轴承(4)的内表面固定连接,所述转动轴(18)的另一端延伸出第一通孔(3)与电机(6)的输出端通过联轴器(20)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光装置,其特征在于:所述凹槽(12)的截面呈三角形状,所述凹槽(12)的内部设置有防滑块(13),所述防滑块(13)为橡胶防滑块。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光装置,其特征在于:四个所述第二通孔(8)以两两对称的形式设置在置物板(7)上,四个所述定位杆(14)的外表面分别与四个所述第二通孔(8)的内表面接触。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光装置,其特征在于:所述定位杆(14)的外表面还设置有螺纹(21),所述限位螺母(16)的内表面与定位杆(14)的外表面螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光装置,其特征在于:所述第二弹簧(17)的顶部与置物板(7)的下表面固定连接,所述第二弹簧(17)的底部与限位螺母(16)的上表面接触。

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