蓝宝石衬底抛光装置的制造方法
【专利摘要】蓝宝石衬底抛光装置，包括机架，设置在机架上端的水平支架，水平支架上设置水平导轨，垂直支架导向滑动设置于水平导轨上，在水平支架上设置有与垂直支架连接的横向驱动装置，垂直支架上设置纵向导轨，纵向导轨上滑动设置有滑座，所述滑座向下连接有抛光板，在垂直支架上还设置有与滑座连接的纵向驱动装置；抛光板在纵向驱动装置作用下沿垂直支架上下移动，以实现对蓝宝石衬底的压实与安放，垂直支架在横向驱动装置作用下可以沿水平支架往复移动，以适应不同宽度大小衬底的打磨加工；同时在抛光板与配重块的凹槽之间设置有缓冲块，可以对垂直纵向驱动装置下压时抛光板与衬底接触时的冲击力的缓冲，有利于保护蓝宝石衬底免受硬性损坏。
【专利说明】
蓝宝石衬底抛光装置
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体材料领域，特别是涉及一种蓝宝石衬底抛光装置。【背景技术】
[0002]蓝宝石又称为白宝石，它具有很好的导热性、极好的电气特性，因此被广泛应用于工业、国防、科研及民用领域，随着LED的迅猛发展，蓝宝石晶片成为多行急需的耗材，由于蓝宝石硬度极高、脆性大、化学性质稳定，给材料加工，尤其是蓝宝石衬底的抛光带来很多麻烦，为应对光电技术对产品衬底表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对其衬底进行抛光处理；由于蓝宝石衬底的直径大小不一，在衬底打磨的过程中一般需要安装多个抛光板， 另外抛光板在下压过程中存在易损坏蓝宝石衬底的缺陷。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于为解决现有技术的不足提供一种蓝宝石衬底抛光装置，其可以打磨多种不同直径大小的蓝宝石衬底，提高了蓝宝石衬底的打磨效率，同时还解决了抛光板在下压过程中易损坏蓝宝石衬底的缺陷。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:蓝宝石衬底抛光装置，包括转动设置在机架下端的转轴，转轴的顶端部固定有抛光台，在抛光台的上表面固定有抛光垫， 抛光垫的上方设有抛光机构，所述的抛光机构包括设置在机架上端的水平支架，水平支架上设置水平导轨，垂直支架导向滑动设置于水平导轨上，在水平支架上设置有与垂直支架连接的横向驱动装置，垂直支架上设置纵向导轨，纵向导轨上滑动设置有滑座，所述滑座向下连接有抛光板，在垂直支架上还设置有与滑座连接的纵向驱动装置。
[0005]所述滑座通过连接杆向下连接有配重块，配重块的下端凹槽内嵌置有抛光板，在抛光板的上端面与凹槽的底端面之间连接有缓冲块。
[0006]所述的横向驱动装置包括设置在水平支架两端的水平带轮，两水平带轮之间绕置有同步带，所述同步带与垂直支架连接，水平电机设置在水平支架上，其输出端与其中任意一水平带轮连接。
[0007]本实用新型的有益效果是:抛光板在纵向驱动装置作用下沿垂直支架上下移动， 以实现对蓝宝石衬底的压实与安放，垂直支架在横向驱动装置作用下可以沿水平支架往复移动，以适应不同宽度大小衬底的打磨加工；同时在抛光板与配重块的凹槽之间设置有缓冲块，可以对垂直纵向驱动装置下压时抛光板与衬底接触时的冲击力的缓冲，有利于保护蓝宝石衬底免受硬性损坏。【附图说明】
[0008]图1为本实用新型的结构示意图。图中:
[0009]1.机架，2.水平电机，3.滑座，4.连接杆，5.配重块，6.缓冲块，7.抛光板，8.抛光台，9.垂直支架，10.纵向导轨，11.水平支架，12.水平带轮，13.同步带，14.衬底，15.抛光垫，16.转轴。【具体实施方式】
[0010]下面通过具体实施例进一步说明本实用新型的技术方案。
[0011]如图1所示:蓝宝石衬底抛光装置，包括转动设置在机架1下端的转轴16,转轴16的顶端部固定有抛光台8,在抛光台8的上表面固定有抛光垫15,抛光垫15的上方设有抛光机构，所述的抛光机构包括设置在机架1上端的水平支架11，水平支架11上设置水平导轨，垂直支架9导向滑动设置于水平导轨上，在水平支架11上设置有与垂直支架9连接的横向驱动装置，垂直支架9上设置纵向导轨10,纵向导轨10上滑动设置有滑座3,所述滑座3向下连接有抛光板7,在垂直支架9上还设置有与滑座3连接的纵向驱动装置。
[0012]所述滑座3通过连接杆4向下连接有配重块5,配重块5的下端凹槽内嵌置有抛光板 7，在抛光板7的上端面与凹槽的底端面之间连接有缓冲块6。
[0013]所述的横向驱动装置包括设置在水平支架11两端的水平带轮12,两水平带轮12之间绕置有同步带13,所述同步带13与垂直支架9连接，水平电机2设置在水平支架11上，其输出端与其中任意一水平带轮12连接。[〇〇14]抛光板7在纵向驱动装置作用下沿垂直支架9上下移动，以实现对蓝宝石衬底14的压实与安放，垂直支架9在横向驱动装置作用下可以沿水平支架11往复移动，以适应不同宽度大小衬底的打磨加工；同时在抛光板7与配重块5的凹槽之间设置有缓冲块6,可以对垂直纵向驱动装置下压时抛光板7与衬底14接触时的冲击力的缓冲，有利于保护蓝宝石衬底14 免受硬性损坏。[〇〇15]除说明书所述技术特征外，均为本专业技术人员已知技术。
【主权项】
1.蓝宝石衬底抛光装置，包括转动设置在机架(1)下端的转轴(16)，转轴(16)的顶端部 固定有抛光台(8)，在抛光台(8)的上表面固定有抛光垫(15)，抛光垫(15)的上方设有抛光 机构，其特征在于:所述的抛光机构包括设置在机架(1)上端的水平支架(11)，水平支架 (11)上设置水平导轨，垂直支架(9)导向滑动设置于水平导轨上，在水平支架(11)上设置有 与垂直支架(9)连接的横向驱动装置，垂直支架(9)上设置纵向导轨(10)，纵向导轨(10)上 滑动设置有滑座(3)，所述滑座(3)向下连接有抛光板(7)，在垂直支架(9)上还设置有与滑 座(3 )连接的纵向驱动装置。2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于:所述滑座(3)通过连接杆 (4)向下连接有配重块(5)，配重块(5)的下端凹槽内嵌置有抛光板(7)，在抛光板(7)的上端 面与凹槽的底端面之间连接有缓冲块(6)。3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于:所述的横向驱动装置包括 设置在水平支架(11)两端的水平带轮(12)，两水平带轮(12)之间绕置有同步带(13)，所述 同步带(13)与垂直支架(9)连接，水平电机(2)设置在水平支架(11)上，其输出端与其中任 意一水平带轮(12)连接。
【文档编号】B24B37/34GK205588136SQ201620401635
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年5月3日
【发明人】朱宁, 刘增伟, 魏行行
【申请人】元鸿（山东）光电材料有限公司