压电元件、压电元件应用设备、以及压电元件的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:12227083

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本发明涉及具有在基板上设置的第一电极、压电体层以及第二电极的压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。背景技术公知有通过使压电元件(压电促动器)变形来使压力产生室内的液体产生压力变动,从而使液滴从与压力产生室连通的喷嘴开口喷射的液体喷射头。作为该液体喷射头的代表例,有使墨滴作为液滴喷射的喷墨式记录头。喷墨式记录头例如在设置有与喷嘴开口连通的压力产生室的流路形成基板的一面侧具备压电元件,通过压电元件的驱动使振动板变形,从而使压力产生室内的墨水产生压力变化,来使墨滴从喷嘴开口喷射。这里,压电...
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