技术编号:12232929
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅铸锭技术领域,尤其涉及一种多晶硅铸锭炉的热场结构。背景技术采用定向凝固方法进行多晶硅铸锭时,一般通过铸锭炉侧部和顶部的加热器加热使原生多晶熔化,底部散热降温结晶生长。由于全熔工艺对漂浮熔化的要求,目前的热场结构和顶侧加热器发热比例,侧部发热量较大,使长晶中后期固液界面很凸,致使中间长晶结束后仍需很长的时间进行边角长晶,致使周期很长;企业为了不影响周期,在边角还未长晶结束即进入退火,这种处理方法会使边角凸起甚至产生裂纹,不仅影响美观也影响良率。针对上述目前有两种改善方法:一种方...
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