一种多晶硅铸锭炉的热场结构的制作方法

本实用新型涉及多晶硅铸锭技术领域，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉的热场结构。

背景技术：

采用定向凝固方法进行多晶硅铸锭时，一般通过铸锭炉侧部和顶部的加热器加热使原生多晶熔化，底部散热降温结晶生长。由于全熔工艺对漂浮熔化的要求，目前的热场结构和顶侧加热器发热比例，侧部发热量较大，使长晶中后期固液界面很凸，致使中间长晶结束后仍需很长的时间进行边角长晶，致使周期很长；企业为了不影响周期，在边角还未长晶结束即进入退火，这种处理方法会使边角凸起甚至产生裂纹，不仅影响美观也影响良率。

针对上述目前有两种改善方法：一种方法是升高侧部加热器的位置，使侧部最大发热量的位置上移，固液界面凸出程度降低，可以有效改善边角长晶。但是，加热器上移会导致底部温度偏低，漂浮熔化失败，熔化时间长，容易粘锅裂锭。另一种方法是加强侧部散热，这种方法不会影响熔化，但是会增加能耗。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种多晶硅铸锭炉的热场结构，能够在不延长长晶时间的前提下，使边角长晶的表面比较平整，提高多晶硅铸锭的良率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括：隔热笼、设置于所述隔热笼内的坩埚、设置于所述坩埚的外侧的侧护板、及设置于所述侧护板与所述隔热笼之间的侧加热器；所述侧护板与所述侧加热器之间设置有石墨硬毡，所述石墨硬毡连接于所述侧护板，且所述石墨硬毡的位置对应于所述侧加热器的中部设置。

优选地，所述侧护板的外侧面开设有用于放置所述石墨硬毡的凹槽，所述凹槽的深度略小于所述石墨硬毡的厚度。

优选地，所述石墨硬毡的厚度为10mm～30mm。

优选地，所述石墨硬毡与所述侧加热器的高度比为0.4～0.8：1。

本实用新型的有益效果为：本实用新型提出的一种多晶硅铸锭炉的热场结构，侧护板与侧加热器之间设置有石墨硬毡，石墨硬毡连接于侧护板，且石墨硬毡的位置对应于侧加热器的中部设置。通过石墨硬毡对侧加热器正对的硅液进行隔热，能够在不延长长晶时间的前提下，使长晶表面平整美观，提高良率，同时装置简单，改造成本不高。

附图说明

图1是本实用新型提供的一种多晶硅铸锭炉的热场结构的示意图。

图2是本实用新型中侧护板的示意图。

图中：1-隔热笼；2-坩埚；3-侧护板；31-凹槽；4-侧加热器；5-石墨硬毡。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1所示，一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括：隔热笼1、设置于隔热笼1内的坩埚2、设置于坩埚2的外侧的侧护板3、及设置于侧护板3与隔热笼1之间的侧加热器4；侧护板3与侧加热器4之间设置有环形的石墨硬毡5，石墨硬毡5连接于侧护板3，且石墨硬毡5的位置对应于侧加热器4的中部设置。

本实用新型提出的一种多晶硅铸锭炉的热场结构，主要针对多晶硅铸锭过程中侧部发热量较大致使中后期固液界面较凸影响边角长晶的问题进行改善，通过石墨硬毡5对侧加热器4正对的硅液进行隔热，降低多晶硅铸锭过程中中后期长晶固液界面的凸出程度，在不延长长晶时间的前提下，使长晶表面平整美观，提高良率，并且装置简单，改造成本不高。

如图2所示，作为本方案的一个实施例，侧护板3的外侧面开设有用于放置石墨硬毡5的凹槽31，凹槽31的深度略小于石墨硬毡5的厚度。

优选地，该多晶硅铸锭炉的热场结构中，石墨硬毡5的厚度为10mm～30mm，石墨硬毡5与侧加热器4的高度比为0.4～0.8：1。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。