技术总结
本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括：隔热笼、设置于隔热笼内的坩埚、设置于坩埚的外侧的侧护板、及设置于侧护板与隔热笼之间的侧加热器；侧护板与侧加热器之间设置有石墨硬毡，石墨硬毡连接于侧护板，且石墨硬毡的位置对应于侧加热器的中部设置。该多晶硅铸锭炉的热场结构能够在不延长长晶时间的前提下，使边角长晶的表面比较平整，提高多晶硅铸锭的良率。
技术研发人员：吴小元;宋江;郭宽新;张斌
受保护的技术使用者：奥特斯维能源（太仓）有限公司
文档号码：201620956895
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2017.02.22