一种多晶硅铸锭炉的热场结构的制作方法

文档序号:12232929阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅铸锭炉的热场结构,包括:隔热笼(1)、设置于所述隔热笼(1)内的坩埚(2)、设置于所述坩埚(2)的外侧的侧护板(3)、及设置于所述侧护板(3)与所述隔热笼(1)之间的侧加热器(4);其特征在于,所述侧护板(3)与所述侧加热器(4)之间设置有石墨硬毡(5),所述石墨硬毡(5)连接于所述侧护板(3),且所述石墨硬毡(5)的位置对应于所述侧加热器(4)的中部设置。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的热场结构,其特征在于,所述侧护板(3)的外侧面开设有用于放置所述石墨硬毡(5)的凹槽(31),所述凹槽(31)的深度略小于所述石墨硬毡(5)的厚度。

3.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅铸锭炉的热场结构,其特征在于,所述石墨硬毡(5)的厚度为10mm~30mm。

4.根据权利要求1或2所述的一种多晶硅铸锭炉的热场结构,其特征在于,所述石墨硬毡(5)与所述侧加热器(4)的高度比为0.4~0.8:1。

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