技术编号:12283986
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及十二羰基三钌的纯化方法,该十二羰基三钌可作为用于通过化学沉积法形成钌薄膜或钌化合物薄膜的原料使用。背景技术在通过CVD法(化学气相沉积法)、ALD法(原子层沉积法)等化学沉积法形成钌薄膜或钌化合物薄膜时,作为其原料化合物,目前已知多种的有机钌化合物。在这些有机钌化合物中,近年来作为研究了实用性的化合物,有下式所示的十二羰基三钌(DodecacarbonylTriruthenium,以下称为DCR)。[化1]DCR是熔点为154-155℃的常温下为固体(橙色结晶)的物质。DCR是由Ru和...
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