技术编号：12305179
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实施例的一个方面涉及数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法。背景技术在制造诸如设备之类的产品的制造装置中，用于控制制造装置的程序收集多条日志信息并且然后将该多条日志信息作为日志数据存储在制造装置的信息处理设备中，在该多条日志信息中例如记录了关于构成制造装置的各种设备的操作或控制的历史。当记录在该日志数据中的日志信息的数据被发送时，监视和控制制造装置的外部设备(诸如主机计算机)可以执行生产控制、装置中的异常检测、故障预测、反馈控制等等。在日本专利特开No.2015...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。