数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法与流程

本实施例的一个方面涉及数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法。

背景技术：

在制造诸如设备之类的产品的制造装置中，用于控制制造装置的程序收集多条日志信息并且然后将该多条日志信息作为日志数据存储在制造装置的信息处理设备中，在该多条日志信息中例如记录了关于构成制造装置的各种设备的操作或控制的历史。

当记录在该日志数据中的日志信息的数据被发送时，监视和控制制造装置的外部设备(诸如主机计算机)可以执行生产控制、装置中的异常检测、故障预测、反馈控制等等。

在日本专利特开no.2015-79817中提出的方法是将多个模块的多条日志信息的多条数据发送到外部的方法。

这里，在外部设备中，上述生产控制等是通过使用用于标识制造装置的命令操作的作业的标识符、用于标识由该装置处理的材料的标识符等来执行的。这些标识符是由外部设备和制造装置共享的标识符(以下称为外部标识符)。因此，在日志信息的数据的发送中，必须添加和发送外部标识符。

然而，在制造装置的控制单元中，在某些情况下，仅使用在制造装置中使用的标识符(以下称为内部标识符)将诸如用于标识命令所操作的作业的标识符之类的标识符记录在日志信息中。因此，当发送日志信息的数据时，在某些情况下，不包含外部标识符的信息的日志信息的数据被发送，使得不可能在外部设备中使用用于上述生产控制等的数据。

技术实现要素：

根据实施例的一个方面的数据传输方法是将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备的数据传输方法。该数据传输方法包括：存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于所述对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，以及发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据。所述存储和获得由信息处理设备执行。

从以下参考附图对示例性实施例的描述，本公开的其它特征将变得清楚。

附图说明

图1示出了曝光装置和主机计算机的配置。

图2是示出了信息处理设备的硬件配置的框图。

图3是示出了中央处理单元(cpu)的配置的框图。

图4是示出了根据第一实施例的由cpu执行的处理的流程图。

图5a至图5j示出了根据第一实施例的日志数据、日志信息、传输数据等。

图6是示出了根据第二实施例的由cpu执行的处理的流程图。

图7a和图7b示出了根据第二实施例的日志数据、日志信息、传输数据等。

具体实施方式

下面将参考附图详细描述本公开的示例性实施例。在以下的实施例中，将描述曝光装置被用作制造装置的示例。在整个附图中，相同的构件用相同的附图标记指代，并且省略其重复的描述。

第一实施例

图1示出了曝光装置和主机计算机的配置。如图1中所示，曝光装置10可以包括光源单元101、照明系统102、掩模台104、光学投影系统105、晶片台106、晶片卡盘107、预对准单元109和控制单元111。

从光源单元101发射的光经由照明系统102照明由掩模台104保持的掩模103。光源单元101的光源的示例包括高压汞灯、准分子激光器等。在光源是准分子激光器的情况下，光源单元101不一定被设置在曝光装置10的室(chamber)中。光源单元101可以设置在外部。在掩模103上，绘制了待转印的电路图案。照明掩模103的光通过光学投影系统105到达晶片108。晶片108的示例包括硅晶片、玻璃板、薄膜基板等。

掩模103上的图案经由光学投影系统105转印到感光介质(例如，抗蚀剂)，晶片108被用该感光介质涂布(coated)。晶片108由晶片卡盘107以通过诸如真空抽吸之类的方法使得该晶片108平坦的方式保持。晶片卡盘107由晶片台106保持。晶片台106是可移动的。在晶片台106沿垂直于光学投影系统105的光轴的表面二维地逐步移动的同时，在晶片108的多个压射区域上重复执行曝光。这是被称为步进和重复(step-and-repeat)的曝光方法。还有被称为步进和扫描(step-and-scan)方法的曝光方法，其中在掩模台104和晶片台106同步的情况下执行扫描和曝光。第一实施例也可以应用于采用这种方法的曝光装置。

在曝光装置10中，把要经受曝光处理的晶片108加载到曝光装置10中，其中晶片108被放置在晶片盒110中。在晶片盒110中，存储至少一个晶片108，并且通常存储多个晶片108。一个晶片108通过未示出的机器人手等被从晶片盒110中取出并被放置在预对准单元109中。在预对准单元109中，对晶片108执行定向调整、对准等，并且然后通过机器人手将晶片108放置在晶片卡盘107上，并使晶片108经受曝光处理。经受了曝光处理的晶片108由机器人手从晶片卡盘107中取出并返回到晶片盒110，并且同时，在预对准单元109中等待的后续晶片108被放置在晶片卡盘107上。以这种方式，晶片108顺序地经受曝光处理。在曝光装置10以串联的方式与另一装置(诸如涂布/显影装置)(未示出)连接的情况下，可以从其它装置输送要经受曝光处理的晶片108，并且可以将经受了曝光处理的晶片108输送到其它装置。

控制单元111是诸如计算机之类的信息处理设备。控制单元111控制曝光装置10的每个单元或设备，并执行各种算术运算。在图1所示的示例中，虽然设置了一个控制单元111，但是控制单元111的数量不限于一个。可以为曝光装置10的各个单元或设备设置多个控制单元111。

主机计算机11是经由网络等与曝光装置10连接的信息处理设备。主机计算机11监视和控制曝光装置10。主机计算机11还连接到除了曝光装置10之外的设备，并且类似地监视和控制另一制造装置等。例如，主机计算机11执行关于曝光装置10进行操作的命令的作业。此时，主机计算机11向作业添加外部标识符(第一标识符)的信息，并将该作业的信息发送到曝光装置10。

这里，外部标识符是由曝光装置10和诸如主机计算机11之类的外部设备共享的标识符。外部标识符的示例包括作为用于标识作业的标识符的“jobid”、作为用于标识由曝光装置10处理的晶片的标识符的“waferid”等。指示作业的属性的信息(诸如批号、配方名称或作业步骤名称)也可以用作外部标识符。指示晶片的属性的信息(诸如晶片所属的晶片盒或晶片盒的槽)也可以用作外部标识符。指示掩模的属性的信息(诸如掩模的标识符)也可以用作外部标识符。也就是说，外部标识符是用于标识关于由曝光装置10执行的处理的事物的标识符。

该实施例不限于从主机计算机11获得外部标识符的情况。例如，作为用于标识晶片的外部标识符的“waferid”可以从另一制造装置获得，诸如以串联的方式连接到曝光装置10的涂布/显影装置(未示出)。此外，作为用于标识掩模103的外部标识符的“maskid”可以通过利用掩模输送单元(未示出)读取掩模103上的条形码等来获得。

图2是示出能够执行数据传输方法的信息处理设备的硬件配置的框图。该方法通过使计算机的处理单元(中央处理单元(cpu)、微处理单元(mpu)等)读取程序来执行。实现信息处理设备的功能的软件或程序经由网络或各种存储介质中的每一种被提供给包括一个或多个计算机的信息处理设备。通过使信息处理设备的处理单元读取记录或存储在记录介质或存储介质中的程序来执行该程序。可以通过使被定位得彼此远离的计算机经由有线或无线通信来彼此发送和接收数据来执行程序的各种处理。信息处理设备可以是连接到曝光装置10的服务器，并且可以被放置在曝光装置10中。替代地，信息处理设备可以是用作控制单元111的信息处理设备。

在图2所示的示例中，cpu201是对与数据传输相关的每种类型的数据处理执行算术运算并且控制连接到总线208的部件的处理单元。只读存储器(rom)202是仅用于读取数据的存储器，并存储基本的控制程序。随机存取存储器(ram)203是用于读取和写入数据的存储器，并且用于存储要描述的传输数据305。ram203也用于临时存储由cpu201执行的各种算术运算、数据等。存储设备204用于存储要描述的诸如对应信息303和日志数据304之类的数据。存储设备204还用作信息处理设备的操作系统(os)的系统程序的临时存储区域以及在程序或数据的处理期间的临时存储区域。尽管在数据输入/输出方面存储设备204比ram203慢，但是存储设备204可以存储大量的数据。在一个或多个实施例中，存储设备204是可以永久存储数据的非易失性存储设备，使得可以长时间地参考所存储的数据。虽然存储设备204大多由磁存储设备(硬盘驱动器(hdd))构成，但是存储设备204也可以是在诸如光盘(cd)、数字多功能光盘(dvd)或存储卡之类的外部介质加载于其中的情况下读取或写入数据的设备。

输入设备205是用于将字符或数据输入到信息处理设备的设备并且对应于例如各种类型的键盘或鼠标。显示设备206是用于显示用于信息处理设备的操作的信息、处理结果等的设备，并且对应于例如阴极射线管(crt)或液晶显示器。

通信设备207连接到网络以使用诸如传输控制协议/互联网协议(tcp/ip)之类的通信协议来执行数据通信，并且用在与另一信息处理设备通信中。通信设备207从另一控制单元接收日志信息，并向被描述的日志处理单元301通知日志信息。通信设备207还从主机计算机11接收命令，并向通信处理单元(未示出)通知来自主机计算机11的命令。

图3是示出了cpu201的配置的框图。cpu201包括日志处理单元301和数据传输单元302。

当日志处理单元301被通知日志信息时，日志处理单元301将日志信息记录在日志数据304中，并将日志数据304存储在存储设备204中。这里，日志数据304是通过收集多条日志信息获得的数据，在该多条日志信息中，记录了例如关于构成曝光装置10的各种设备的操作或控制的历史。日志数据304例如以数据库或文件格式被存储在存储设备204中。

日志处理单元301将外部标识符的信息和内部标识符(第二标识符)的信息之间的对应关系添加到对应信息303，并将对应信息303存储在存储设备204中。这里，内部标识符是在曝光装置10中使用的标识符。如在外部标识符中那样，内部标识符的示例包括作为用于标识作业的标识符的“jobno”、作为用于标识由曝光装置10处理的晶片的标识符的“waferno”等。其它示例与上述外部标识符的示例相同。也就是说，内部标识符也是用于标识关于由曝光装置10执行的处理的事物的标识符。对应信息303例如以数据库或文件格式被存储在存储设备204中。为了提高处理速度，日志处理单元301可以将对应信息303临时存储在ram203中。日志处理单元301还向数据传输单元302通知该日志信息。

数据传输单元302将从日志处理单元301接收的日志信息添加到传输数据305。传输数据305例如以数据库或文件格式存储在ram203中。数据传输单元302还参考对应信息303获得外部标识符的信息，并将外部标识符的信息添加到传输数据305。为了提高处理速度，数据传输单元302可以参考临时存储在ram203中的对应信息303。数据传输单元302还从ram203读取传输数据305，以经由通信设备207将传输数据305发送到外部信息处理设备。这里，外部信息处理设备可以指一个信息处理设备或多个信息处理设备。

接下来，将参考图4以及5a至5j来描述根据本实施例的数据传输方法。图4是示出了根据第一实施例的由cpu201执行的处理的流程图。图5a至5j示出了根据第一实施例的日志数据、日志信息、传输数据等。

日志处理单元301从另一控制单元接收日志信息(步骤401)。在步骤401中，日志处理单元301可以从在cpu201中操作的另一处理单元接收日志信息。另一处理单元的示例是从主机计算机11接收命令并处理来自主机计算机11的命令的通信处理单元(未示出)。图5a示出了由日志处理单元301接收的日志信息的示例。该日志信息是其中从通信处理单元通知日志处理单元301是否从主机计算机11发送了关于进行操作的命令的作业的日志信息。该日志信息包括作为是外部标识符的“jobid”的信息“test_lot”。还包括作为是内部标识符的“jobno”的信息“1”。还包括指示日志信息的类型的信息“createjob”。还包括作为指示何时接收到来自主机计算机11的命令的日期和时间的事件时间的信息“2016-01-0100:00:10”。在事件时间信息中，“2016-01-01”表示日期，并且“00:00:10”表示时间。也就是说，事件时间是指由日志信息的类型指示的事件发生的时间。

日志处理单元301将接收的日志信息记录在日志数据304中，并将日志数据304存储在存储设备204中(步骤402)。图5b示出了由日志处理单元301记录的日志信息的示例。与图5a中所示的日志信息相同的信息被记录在日志数据304中。

日志处理单元301确定在所接收的日志信息中是否包括外部标识符(步骤403)。如果在日志信息中包含外部标识符，则日志处理单元301将多条外部标识符和内部标识符的信息添加到对应信息303，并将对应信息303存储在存储设备204中(步骤404)。分别指示外部标识符和内部标识符的关键字“jobid”和“jobno”被预先存储在存储设备204中。日志处理单元301参考关键字来确定外部标识符和内部标识符是否包括在日志信息中。

图5c示出了由日志处理单元301存储的对应信息303的示例。该对应信息303指示关于包含在日志信息中的分别是外部标识符和内部标识符的“jobid”和“jobno”、“test_lot”对应于“1”的信息。也就是说，“test_lot”和“1”分别是各自指示相同作业的外部标识符的信息和内部标识符的信息。日志处理单元301将这些多条信息彼此相关联，将它们添加到对应信息303，并将对应信息303存储在存储设备204中。

图5d示出了由日志处理单元301接收的日志信息的另一示例。该日志信息是其中从控制晶片的输送的控制单元通知日志处理单元301晶片是否被输送到了曝光装置10的日志信息。该日志信息包括作为是外部标识符的“waferid”的信息“test_lot_w1”。还包括作为是内部标识符的“waferno”的信息“1”。还包括指示日志信息的类型的信息“waferin”。还包括作为晶片何时被输送到曝光装置10的事件时间的信息“2016-01-0100:00:20”。该事件时间的含义与包括在图5a中所示的日志信息中的事件时间的含义相同。

图5e示出了由日志处理单元301记录的日志信息的另一示例。日志处理单元301将与图5d中所示的日志信息相同的信息添加到日志数据304。

图5f示出了由日志处理单元301存储的对应信息303的另一示例。该对应信息303指示关于包含在日志信息中的分别是外部标识符和内部标识符的“waferid”和“waferno”、“test_lot_w1”对应于“1”的信息。也就是说，“test_lot_w1”和“1”分别是各自指示同一晶片的外部标识符的信息和内部标识符的信息。日志处理单元301将这些多条信息彼此相关联，将它们添加到对应信息303，并将对应信息303存储在存储设备204中。

这里，对于日志信息，存在不包括外部标识符的信息的日志信息和包括外部标识符的信息的日志信息。图5g示出了由日志处理单元301接收的日志信息的另一示例。在图5g中示出的日志信息是不包括外部标识符的信息的日志信息，并且在图5a和图5d中所示的多条日志信息各自是包括外部标识符的信息的日志信息。此外，对于控制曝光装置10的各单元或设备的控制单元，存在不向外部设备发送以及从外部设备接收信息并因此不需要外部标识符的控制单元。此外，对于在cpu201中操作并且对曝光装置10执行控制等的处理单元，存在类似地不需要外部标识符的处理单元。因此，在从这种控制单元和这种处理单元通知日志处理单元301的多条日志信息中不包括外部标识符。为了在从这种控制单元或这种处理单元通知日志处理单元301的日志信息中包括外部标识符，必须对控制单元和处理单元程序进行改变。此外，随着这种控制单元和这种处理单元的数量增加，必须以不断增大的规模对程序进行改变。

在s403中，如果确定在日志信息中不包括外部标识符，则日志处理单元301不存储对应信息303并且进行到步骤405。

日志处理单元301确定接收到的日志信息是否包括要发送到外部的数据(步骤405)。这里，关于日志信息，存在包括要发送到外部的数据的日志信息和不包括要发送到外部的数据的日志信息。用于判别两种类型的日志信息的判别信息被存储在存储设备204中，并且日志处理单元301参考判别信息来确定日志信息是否包括要发送到外部的数据。如果日志信息包括要发送到外部的数据，则日志处理单元301向数据传输单元302通知所接收的日志信息(步骤406)。指示日志信息是否包括要发送到外部的数据的信息被预先存储在存储设备204中。作为信息，例如，日志信息的类型被存储。日志处理单元301参考该信息来确定日志信息是否包括要发送到外部的数据。如果日志信息不包括要发送到外部的数据，则处理返回到步骤401。

当数据传输单元302从日志处理单元301接收到日志信息时，数据传输单元302将日志信息添加到传输数据305，并将传输数据305存储在ram203中(步骤407)。

这里，图5h示出了数据传输单元302已经将日志信息存储在其中的传输数据305的示例。对于传输数据305，存在仅包括一条日志信息的数据和包括多条日志信息的数据。图5h示出了包括多条日志信息的传输数据305。

数据传输单元302参考对应信息303获得对应于包括在日志信息中的内部标识符的信息的外部标识符的信息，将获得的外部标识符的信息添加到传输数据305，并且将传输数据305存储在ram203中(步骤408)。图5i示出了获得的多条外部标识符的信息的示例。图5i示出了所获得的分别作为是外部标识符的“jobid”和“waferid”的信息“test_lot”和信息“test_lot_w1”。

这里，在要发送的数据包括多条日志信息的情况下，在步骤408中，数据传输单元302可以基于该多条日志信息中的一条日志信息来获得外部标识符的信息，并将获得的信息添加到传输数据305。为此，把要获得外部标识符的信息的日志信息存储在存储设备204中，因此数据传输单元302参考该信息来确定是否要获得和添加外部标识符的信息。此外，在步骤408中，数据传输单元302可以参考传输数据305来确定是否添加了外部标识符的信息，并且如果已经添加了外部标识符的信息，则数据传输单元302不必获得和添加外部标识符的信息。

这里，图5j示出了已经添加了多条外部标识符的信息的传输数据305的示例。在该示例中，从对应信息303获得的外部标识符“jobid”和“waferid”以及它们相应的多条信息“test_lot”和“test_lot_w1”被添加到传输数据305。此外，图5j示出了在传输数据305的传输之前，基于预先存储在存储设备204中的格式来编辑传输数据305并且然后发送该传输数据305的示例。在传输数据305的传输中，可以在不进行编辑的情况下发送传输数据305。

数据传输单元302确定要发送的所有的多条日志信息是否已被添加到传输数据305(步骤409)。指示哪个日志信息被包括在要发送的数据中的信息被预先存储在存储设备204中。数据传输单元302参考该信息确定是否要发送的所有的多条日志信息已被添加到传输数据305。

如果已经添加了所有的多条日志信息，则数据传输单元302将传输数据305发送到外部信息处理设备(步骤410)。如果所有的多条日志信息还未被添加，则处理返回到步骤401。

在图4中，虽然描述了发送一条数据的处理，但是可以重复执行步骤401至410以发送多条数据。

因此，根据本实施例中的数据传输方法，可以发送已经添加了外部标识符的信息的数据。当发送已经添加了外部标识符的信息的数据时，可以通过使用外部设备中发送的数据来执行生产控制、设备中的异常检测、故障预测、反馈控制等。此外，可以在不改变控制曝光装置的程序的情况下发送已经添加了外部标识符的信息的数据。

第二实施例

下面将描述本公开的第二实施例，并且在本实施例中未描述的事项可以遵循第一实施例的描述。在第一实施例中，描述了从控制单元等接收日志信息以传输数据的方法。在第二实施例中，将参考图6、图7a和图7b来描述其中日志处理单元301读取存储的日志数据304以传输数据的方法。

图6是示出了根据第二实施例的由cpu执行的处理的流程图。图7a和图7b示出了根据第二实施例的日志数据、日志信息、传输数据等。

日志处理单元301从日志数据304读取日志信息(步骤601)。要读取的日志信息是例如在图5b或图5e中所示的日志数据304的信息。

日志处理单元301确定从日志数据304读取的日志信息中是否包括外部标识符(步骤602)。如果在日志信息中包含外部标识符，则日志处理单元301将所读取的日志信息的多条外部标识符和内部标识符的信息添加到对应信息303，并将对应信息303存储在存储设备204中(步骤603)。

图7a示出了由日志处理单元301存储的对应信息303的示例。除了在第一实施例中描述的多条内部标识符和外部标识符的信息之外，日志处理单元301还将事件时间添加到对应信息303并存储对应信息303。例如，信息“2016-01-0100:00:10”被存储为作为事件时间的“eventtime”。这里，作为内部标识符的多条信息“jonno”和“waferno”各自是序列数，该序列数如果超过一定的数，则返回初始数。通常将该一定的数设置为足够大的数，以避免内部标识符的信息的复制。然而，在某些情况下，如果曝光装置10已经运行长的时间段，则内部标识符的数达到该一定的数并返回到初始数。在这种情况下，在日志数据304中，相同的多条内部标识符的信息被添加到与不同的多条外部标识符的信息对应的多条日志信息。因此，还在对应信息303中，存在与各自不同的多条外部标识符的信息对应的相同的多条内部标识符的信息。例如，图7a示出了在装置长时间运行的情况下从日志数据304读取的日志信息中存储的对应信息303的示例。例如，对应于作为外部标识符的“waferid”的信息“lot_0001_w1”和“lot_1000_w1”的作为内部标识符的“waferno”的两条信息都是“1”，即，复制已经发生了。如果如刚刚在上面所描述的，在对应信息303中存在相同的多条内部标识符的信息，则发生日志处理单元301不能获得外部标识符的正确信息的情况。因此，为了日志处理单元301获得外部标识符的正确信息，日志处理单元301将事件时间与多条外部标识符和内部标识符的信息一起添加到对应信息303，并将对应信息303存储在存储设备204中。

这里，如上所述，如果内部标识符的数超过足够大的数，则内部标识符的数将返回到初始数。结果，在使用内部标识符的复制信息之前经过的时间段也足够长。因此，如果在对应信息303中存在相同的多条内部标识符的信息，则当日志信息的事件时间与对应信息303中的事件时间进行比较时，可以获得外部标识符的正确信息。

图6中的步骤604至步骤606与图4中的步骤405至步骤407相同，因此，省略其描述。

数据传输单元302参考存储的对应信息303获得与包含在日志信息中的内部标识符的信息相对应的外部标识符的信息，并将外部标识符的信息添加到传输数据305(步骤607)。此时，如果在对应信息303中存在与内部标识符的信息对应的多个多条外部标识符的信息，则获得与日志信息的事件时间接近的事件时间对应的一条外部标识符的信息。因此，可以获得正确的外部标识符的信息。

图7b示出了从日志数据304读取的多条日志信息的示例。在所有的多条日志信息中，作为内部标识符的“waferno”的信息是“1”。在图7a中所示的对应信息303中，存在对应于作为信息为“1”的“waferno”的内部标识符的作为外部标识符的“waferid”的多条信息“lot_0001_w1”和“lot_1000_w1”。然而，对应于相应的多条外部标识符的信息的“eventtime”的事件时间是“2016-01-0100:00:20”和“2016-02-0100:00:20”，因此彼此不同。因此，在对应于相同的多条内部标识符的信息的事件时间中，获得与最接近日志信息的事件时间的事件时间相对应的一条外部标识符的信息。在图7b中，例如假设日志信息的事件时间为“2016-02-0100:00:30”。与相同的多条内部标识符的信息相对应的各个事件时间是“2016-01-0100:00:20”和“2016-02-0100:00:20”。将日志信息的事件时间与对应于相同的多条内部标识符的信息的相应事件时间进行比较，并且选择作为接近“2016-02-0100：00:30”的事件时间的“2016-02-0100:00:20”。结果，数据传输单元302可以获得“lot_1000_w1”作为对应于所选择的事件时间的作为外部标识符的“waferid”的信息。因此，在对应信息303中，如果存在与不同的多条外部标识符的信息对应的相同的多条内部标识符的信息，则在多条内部标识符的信息的事件时间中，可以获得与日志信息的事件时间最接近的事件时间对应的一条外部标识符的信息。

图6中的步骤608和609与图4中的步骤409和410相同，因此，省略其描述。

日志处理单元301确定是否已经从日志数据304中读取了所有的多条日志信息(步骤610)。如果已经读取了所有的多条日志信息，则数据传输处理结束。如果所有的多条日志信息还未被读取，则处理返回到步骤601。

在根据第一实施例的数据传输方法中，事件时间可以如在根据第二实施例的数据传输方法中那样被添加到对应信息303并被存储在对应信息303中。即使在执行根据第一实施例的数据传输的情况下，如果在对应信息303中存在相同的多条内部标识符的信息，则日志处理单元301可以获得外部标识符的正确信息。

在执行根据第一实施例的数据传输之后执行根据第二实施例的数据传输的情况下，不存储对应信息303，并且可以使用执行根据第一实施例的数据传输时存储的对应信息303。这可以减少执行根据第二实施例的数据传输所需的处理时间。

因此，根据本实施例中的数据传输方法，可以发送已经添加了外部标识符的信息的数据。当发送已经添加了外部标识符的信息的数据时，可以通过使用外部设备中发送的数据来执行生产控制、设备中的异常检测、故障预测、反馈控制等。可以在不改变控制曝光装置的程序的情况下发送已经添加了外部标识符的信息的数据。此外，在日志数据中，即使在对应于不同的多条外部标识符的信息的多条日志信息中存在相同的多条内部标识符的信息的情况下，也可以发送已经添加了正确的一条外部标识符的信息的数据。

(制造产品的方法)

将描述制造诸如设备(例如半导体器件、磁存储介质或液晶显示设备)、滤色器或硬盘之类的产品的方法。这种制造方法包括通过使用光刻装置(例如，曝光装置、压印装置或绘制装置)在基板(例如，晶片、玻璃板或薄膜基板)上形成图案的步骤。该制造方法还包括处理其上已经形成图案的基板的步骤。处理步骤可以包括去除图案的残留层的步骤。处理步骤还可以包括另一已知步骤，诸如通过使图案用作掩模来蚀刻基板的步骤。在该实施例中，制造产品的方法可以在产品的性能、质量、生产率和生产成本中的至少一个方面优于现有方法。

虽然上面描述了本公开的示例性实施例，但是本公开不限于这些实施例，并且可以在本公开的要点的范围内进行各种修改和改变。作为制造装置的示例，虽然描述了通过使基板曝光于光而形成图案的曝光装置，但是制造装置不限于曝光装置。制造装置的示例可以是诸如通过带电粒子光学系统以带电粒子束(电子束、离子束等)在基板上执行绘图以在基板上形成图案的绘制装置之类的装置。制造装置的示例可以是使用模具在基板上形成压印材料(树脂等)以在基板上形成图案的压印装置。包括在这些制造装置中的也可以是在制造诸如设备之类的产品中执行除了如上所述的由光刻装置执行的步骤之外的步骤的制造装置。制造装置的示例包括用感光介质涂布基板的表面的涂布装置和使得其上已经转印了图案的基板显影的显影装置。

第一和第二实施例不仅可以单独实施，而且可以组合实现。

本公开可以提供数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法，其中每个都使得能够发送已经添加了外部标识符的信息的数据。

其它实施例

本发明的一个或多个实施例也可以由读出并执行在存储介质(其也可被更完整地称作‘非瞬时计算机可读存储介质’)上记录的计算机可执行指令(例如，一个或多个程序)以执行上述实施例中的一个或多个实施例的功能和/或包括用于执行上述实施例中的一个或多个实施例的功能的一个或多个电路(例如，专用集成电路(asic))的系统或装置的计算机来实现，以及通过由系统或装置的计算机例如通过读出并执行来自存储介质的计算机可执行指令以执行上述实施例中的一个或多个实施例的功能并且/或者控制一个或多个电路以执行上述实施例中的一个或多个实施例的功能来执行的方法来实现。计算机可以包括一个或多个处理器(例如，中央处理单元(cpu)、微处理单元(mpu))并且可以包括用来读出并执行计算机可执行指令的单独计算机或单独处理器的网络。计算机可执行指令可以例如从网络或者存储介质被提供给计算机。存储介质可以包括例如硬盘、随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)、分布式计算系统的存储装置、光盘(诸如紧凑盘(cd)、数字多用途盘(dvd)或者蓝光盘(bd)^tm)、闪存装置、存储卡等中的一个或多个。

其它实施例

本发明的实施例还可以通过如下的方法来实现，即，通过网络或者各种存储介质将执行上述实施例的功能的软件(程序)提供给系统或装置，该系统或装置的计算机或是中央处理单元(cpu)、微处理单元(mpu)读出并执行程序的方法。

虽然已经参考实施例描述了本发明，但是应当理解，本发明不限于所公开的实施例。所附权利要求的范围应被赋予最宽泛的解释，以便包括所有这样的修改以及等同结构和功能。