一种集成电路测试装置及其测试方法与流程技术资料下载

技术编号:12359374

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本发明涉及集成电路领域,特别涉及一种集成电路测试装置及其测试方法。背景技术集成电路封装中,四方扁平无引脚封装、四方扁平封装或球栅阵列式封装等,均会利用大量的焊盘进行外部电连接,而焊盘连接的可靠性直接影响了封装体的可靠性,在形成封装体之前,对焊盘的可靠性进行测试是本领域常用的技术手段。现有技术中,常用测试电路板对所述焊盘进行电测试。一般的,测试电路板上设有与焊盘相对应的接触焊盘,测试电路板与封装芯片对接,使得焊盘与测试电路板的接触焊盘电接触外连测试系统,以此得到测试的结果,但是在测试中往往会有静电...
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