半导体装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12370296

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本发明涉及一种半导体装置。背景技术当前,例如,如日本特开2007-5368号公报所公开,对IGBT或功率MOSFET等电力用半导体装置正在进行研究开发。该公报涉及的半导体装置是在由硅等形成的半导体衬底之上依次层叠AlSi层、Ni层以及焊料层而形成的。为了设置焊料层而需要焊料浸润性良好的Ni层。出于进行镀Ni的目的而设置有AlSi等Al类的层,具体地在该公报的例如0007段等处提及了Al类的层的必要性。专利文献1:日本特开2007-5368号公报对电力进行处理的功率半导体元件的与其动作相伴的发热量...
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