技术编号:12385729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶片下蜡装置,特别是一种手动式晶片下蜡装置。背景技术蓝宝石因具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高等一系列优点,而被广泛应用作LED衬底。在蓝宝石衬底的制造过程中,主要经过切片、双面研磨、铜抛和CMP抛光。在铜抛过程中,首先要用石蜡将晶片贴在陶瓷盘表面,然后到抛光机台上进行单面抛光,抛光完后需加热将石蜡融化,从而将晶片从陶瓷盘上取下。在晶片下蜡过程中,虽然石蜡已被加热融化,但晶片表面与陶瓷盘表面仍然贴合非常紧密,需要用雅阁力板将晶片一片一片的推到陶瓷盘边缘,再将晶片取...
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