技术编号:12393340
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种PCVD(微波等离子体化学气相沉积法)沉积制作光纤预制棒芯棒的方法,属于光纤加工技术领域。背景技术光纤芯棒的制备是光纤制造的第一步,光纤的传输特性主要取决于芯棒的部分,因此芯棒制备工艺被认为是光纤制备工艺的核心部分。制备石英光纤芯棒的方法可分为管内法和管外法,其中管内法主要包括改进的化学气相沉积工艺(MCVD)和等离子体化学气相沉积工艺(PCVD),管外法主要包括外部化学气相沉积工艺(OVD)和轴向化学气相沉积工艺(VAD)。PCVD工艺的沉积过程是在接近真空的低压环境下,参与反应...
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