技术编号：12407274
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体制造领域一种刷洗机刷洗结构，尤其是涉及一种具有清洗液喷洒、毛刷高度调节、毛刷刷洗、皮带搬运工件以及工件定位的一种利用皮带传输的单晶片刷洗结构。背景技术目前，市场上有各种各样的刷洗结构，而大部分都通过机械手将将工件搬运到工位上，小工件这样做是可以得，但是大工件势必会增大结构的尺寸需要在x、y二个方向运动才可以将工件搬运到工位上，加工时间增长，本结构采用皮带搬运的方式，将工件搬运到工位上只需要一个方向运动即可，在加上刷洗定位结构，可以更快速的将工件定位在工位上，有效的提高刷洗的效...
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