一种利用皮带传输的单晶片刷洗结构的制作方法

本实用新型涉及半导体制造领域一种刷洗机刷洗结构，尤其是涉及一种具有清洗液喷洒、毛刷高度调节、毛刷刷洗、皮带搬运工件以及工件定位的一种利用皮带传输的单晶片刷洗结构。

背景技术：

目前，市场上有各种各样的刷洗结构，而大部分都通过机械手将将工件搬运到工位上，小工件这样做是可以得，但是大工件势必会增大结构的尺寸需要在x、y二个方向运动才可以将工件搬运到工位上，加工时间增长，本结构采用皮带搬运的方式，将工件搬运到工位上只需要一个方向运动即可，在加上刷洗定位结构，可以更快速的将工件定位在工位上，有效的提高刷洗的效率。

本实用新型为了克服上述缺陷，进行了有益的改进。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于解决现有技术中的上述不足，提供了一种具有清洗液喷洒、毛刷高度调节、毛刷刷洗、皮带搬运工件以及工件定位的一种利用皮带传输的单晶片刷洗结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种利用皮带传输的单晶片刷洗结构，其特征在于：所述单晶片刷洗结构包括皮带搬运刷洗结构，刷洗定位结构、刷洗升降组件、喷嘴固定支架、清洗液喷嘴、清水喷嘴、定位结构护罩、皮带托架、支撑块、刷洗槽、工作平台、亚克力挡水护罩及紧固件，所述皮带搬 运刷洗结构安装在支撑块和工作平台上，将工件放在搬运皮带上，通过调速电机驱动，利用皮带的摩擦力，可以实现将工件搬运到所述刷洗升降组件的刷洗主轴上，所述刷洗槽安装在工作平台和皮带搬运刷洗结构之间，用于放置刷洗的时候流下来的清洗液和清水，所述皮带托架安装在刷洗槽内部，在皮带下方托举起皮带，防止皮带因为工件重量变形，所述亚克力挡水护罩安装在皮带搬运刷洗结构上部，并位于刷洗主轴正上方，可以实现在刷洗工作的时候被甩出的液体可以顺着亚克力挡水护罩边缘流入刷洗槽中，可以有效的防止液体被甩到非工作区域，所述清洗液喷嘴和清水喷嘴安装在亚克力挡水护罩上的喷嘴固定架上，在刷洗工作的时候可以向工件表面喷洒清洗液和清水，所述刷洗定位结构安装在皮带搬运刷洗结构上，通过气缸驱动，可以实现当工件被搬运到刷洗主轴上时，快速将工件定位在刷洗主轴上，所述刷洗升降组件实现刷其刷洗主轴的吸附瓷盘晶片快速旋转运动，并调节毛刷与瓷盘晶片之间的刷洗距离；

进一步地，所述皮带搬运刷洗结构包括刷子旋转结构、皮带搬运结构、支撑板和工作平台，其中，所述刷子旋转结构包括卡簧、轴承a、刷洗轴套、刷洗刷子轴b、刷子、刷洗刷子轴a、联轴器a、电机支架a、调速电机a，所述轴承a安装在刷洗轴套中，所述刷洗刷子轴b和刷洗刷子轴a安装在轴承中，用卡簧固定，通过螺钉将刷洗轴套安装在支撑座上，所述刷子安装在刷洗刷子轴b和刷洗刷子轴a之间，通过刷洗刷子轴b侧的刷洗轴套的松紧，安装或者拆卸刷子，所述电机支架a安装在支撑板上，所述调速电机a安装在电机支架a 上，通过联轴器a将刷洗刷子轴a与调速电机a连接，实现刷子旋转的功能。

进一步地，所述皮带搬运结构包括调速电机b、电机支架b、联轴器b、轴承b、聚氨脂皮带、皮带轮和驱动轴，所述调速电机b安装在电机支架b上，所述电机支架b固定安装在支撑座上，所述调速电机b的输出端依次连接有联轴器b、轴承b、驱动轴和轴承b，所述皮带轮有两个，安装在驱动轴上，并设置聚氨脂皮带的上带和下带之间；

进一步地，所述刷洗定位结构包括气缸、气缸固定块a、气缸固定块b、气缸固定块c、固定底板、支撑板a、支撑板b、直线导轨、挡板a、挡板b，所述固定底板安装在支撑板上，所述气缸安装在气缸固定板a上，所述气缸固定板b安装在气缸上，所述固定板a安装在气缸固定板c上，气缸固定板c安装在固定底板上，所述支撑板b安装在固定板下，支撑板a安装在支撑板b和固定底板上起到支撑作用，直线导轨安装到支撑板b上，挡板a安装在直线导轨上，挡板b安装在挡板a上，挡板a与气缸固定块b连接，通过气缸驱动带动挡板a、挡板b在直线导轨上移动，向下移动时候可以对工件进行定位，向上移动时候使工件可以通过；

进一步地，所述刷洗升降组件，包括刷洗主轴、升降气缸、调速电机组件、升降组件固定板、升降导向柱、调整螺杆，所述刷洗主轴通过螺钉固定安装在升降固定板上并与真空发生器连接，刷洗主轴表面产生真空吸力，当工件搬运到刷洗主轴上时，通过升调速电机 组件和升降气缸驱动，可以实现刷洗主轴的吸附工件上升并进行快速旋转运动；所述调节螺杆，可以调整升降气缸的升降高度，可以实现毛刷与工件之间的刷洗距离的调节。

本实用新型的有益效果：本实用新型是一款有药液喷洒、毛刷自动刷洗、毛刷高度调节、工件固定、工件皮带自动搬运、工件刷洗定位的刷洗结构，其中，毛刷可实现快速安装与拆卸，并且可以进行毛刷高度的调节，可以实现刷洗轴对工件的真空固定，工件皮带自动搬运、工件刷洗定位，可以提高刷洗效率和成品率。

附图说明

图1是本实用新型实施例刷洗结构分解示意图；

图2是本实用新型实施例皮带搬运刷洗分解示意图；

图3是图2是本实用新型实施例刷洗定位结构分解示意图。

附图标记：1、皮带搬运结构；1-1、工作平台；1-2、卡簧；1-3、轴承a；1-4、刷洗轴套；1-5、支撑座；1-6、刷洗刷子轴b；1-7、刷子；1-8、刷洗刷子轴a；1-9、支撑板；1-10、联轴器a；1-11、电机支架a；1-12、调速电机a；1-13、调速电机b；1-14、电机支架b；1-15、联轴器b；1-16、轴承b；1-17、聚氨脂皮带；1-18、皮带轮；1-19、皮带轮；2、刷洗定位结构；2-1、气缸；2-2、气缸固定块a；2-3、气缸固定块b；2-4、气缸固定块c；2-5、固定底板；2-6、支撑板a；2-7、支撑板b；2-8、直线导轨；2-9、挡板a；2-10、挡板b；3、定位结构护罩；4、喷嘴固定支架；5、挡水护罩；6、清 洗液喷嘴；7、清水喷嘴；8-1、刷洗主轴；8-2、升降组件固定板；8-3、升降气缸；8-4、调速电机组件；8-5、升降导向柱；8-6、调整螺杆；9、工作平台10、刷洗糟；11支撑块；12皮带托架。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步的说明。

本实用新型的实施例整体结构参考图1所示，一种刷洗机清洗液单晶片刷洗结构，包括所述皮带搬运刷洗结构1，刷洗定位结构2、刷洗升降组件、还包括喷嘴固定支架4、清洗液喷嘴6和清水喷嘴7、支撑块11、定位结构护罩3、皮带托架12、刷洗槽10、工作平台9、亚克力挡水护罩5及紧固件，所述皮带搬运刷洗结构1，安装在支撑块10上和工作平台9上，将工件放在搬运皮带上，通过调速电机驱动，利用皮带的摩擦力，可以实现将工件搬运到刷洗主轴8-1上，所述刷洗槽10安装在工作平台9和皮带搬运刷洗结构1之间，用于放置刷洗的时候流下来的清洗液和清水，所述皮带托架12安装在刷洗槽10里面，在皮带下方托举起皮带，防止皮带因为工件重量变形，所述亚克力挡水护罩5安装在皮带搬运刷洗结构1上面，在刷洗主轴8-1正上方，可以实现在刷洗工作的时候被甩出的液体可以顺着亚克力挡水护罩5边缘流入刷洗槽10中，可以有效的防止液体被甩到非工作区域，所述清洗液喷嘴6和清水喷嘴7安装在亚克力挡水护罩5上的喷嘴固定架4上，在刷洗工作的时候可以向工件表面喷洒清洗液和清水，所述刷洗定位结构2安装在皮带搬运刷洗结构1上，通过气缸1驱动，可以实现当工件被搬运到刷洗主轴8-1上时， 快速将工件定位在刷洗主轴8-1上，所述刷洗升降组件，包括刷洗主轴8-1、升降气缸8-3、调速电机组件8-4、升降组件固定板8-2、升降导向柱8-5、调整螺杆8-6，所述刷洗主轴8-1通过螺钉固定安装在升降固定板8-2上，通过与真空发生器连接，刷洗主轴8-1表面产生真空吸力，当工件搬运到刷洗主轴8-1上时，通过升调速电机组件8-4和升降气缸8-3驱动，可以实现刷洗主轴8-1的吸附陶瓷上升并进行快速旋转运动。所述调节螺杆8-6，可以调整升降气缸8-3的升降高度，可以实现毛刷与工件之间的刷洗距离的调节。

本实用新型皮带搬运刷洗结构的结构如图2所示：皮带搬运刷洗结构包括刷子旋转结构、皮带搬运结构、支撑板1-9，所述刷子旋转结构包括卡簧1-2、轴承a1-3、刷洗轴套1-4、刷洗刷子轴b1-6、刷子1-7、刷洗刷子轴a1-8、联轴器a1-10、电机支架a1-11、调速电机a1-12，所述轴承a1-3安装在刷洗轴套1-4中，所述刷洗刷子轴b1-6和刷洗刷子轴a1-7安装在轴承a1-3中，用卡簧1-2固定，通过螺钉将刷洗轴套1-4安装在支撑座1-5上，所述刷子1-7轴安装在刷洗刷子轴b1-6和刷洗刷子轴a1-7之间，通过刷洗刷子轴b1-6侧的刷洗轴套1-4的松紧，安装或者拆卸刷子1-7，所述电机支架a1-11安装在支撑板1-5上，所述调速电机a1-12安装在电机支架a1-11上，通过调速电机a1-12的驱动，通过联轴器a1-10将刷洗刷子轴a1-6与调速电机a1-12连接，可以实现刷子旋转的功能。皮带搬运结构包括调速电机b1-12、电机支架b1-13、联轴器b1-15、轴承b1-16、聚氨脂皮带1-17、皮带轮1-18和驱动轴1-19，所述调速 电机b1-12安装在电机支架b1-13上，所述电机支架b1-13固定安装在支撑座1-5上，所述调速电机b1-13的输出端依次连接有联轴器b1-15、轴承b1-16、驱动轴1-19和轴承b1-16，所述皮带轮1-19有两个，安装在驱动轴1-19上，并设置聚氨脂皮带1-17的上带和下带之间；

本实用新型的刷洗定位结构如图3所示，包括气缸2-1、气缸固定块a2-2、气缸固定块b2-3、气缸固定块c2-4、固定底板2-5、支撑板a2-6、支撑板b2-7、直线导轨2-8、挡板a2-9、挡板b2-10，所述固定底板2-5安装在支撑板1-5上，所述气缸2-1安装在气缸固定板a2-2上，所述气缸固定板b2-3安装在气缸2-1上，所述气缸固定板a2-2安装在气缸固定板c2-4上，气缸固定板c2-4安装在固定底板2-5上，所述支撑板b2-7安装在固定底板2-5下，支撑板a2-6安装在支撑板b2-7和固定底板2-5上起到支撑作用，直线导轨2-8安装到支撑板b2-7上，挡板a2-9安装在直线导轨2-8上，挡板b2-10安装在挡板a2-9上，挡板a2-9与气缸固定块b2-3连接，通过气缸2-1驱动带动挡板a2-9、挡板b2-10在直线导轨2-8上移动，向下移动时候可以对工件进行定位，向上移动时候使工件可以通过。

以上所述实施方式仅表达了本实用新型的一种实施方式，但并不能因此而理解为对本实用新型范围的限制。应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。