技术编号:12407477
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电池片的冷却领域,特别是涉及一种电池片的冷却装置。背景技术在硅片制作成太阳电池片过程中,一般都会有高温处理的工序,如PECVD镀膜、烧结等,而紧接着这些的下一道工序一般都要求硅片处于常温的状态,因此在这些高温的工序后都会有冷却的过程。目前对电池片的冷却一般采用风冷,即使用风机对硅片进行吹风冷却,因其操作简单且冷却速率可调使其有着独特的优势。然而,风冷对厚度较薄的硅片可能产生破坏性的影响,当吹风速率增大使硅片加速冷却时,硅片会产生应力,当应力积累到一定程度后,硅片会隐裂甚至破碎;另外...
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