无油涡旋真空泵的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12437289

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本实用新型涉及真空泵技术领域,具体涉及一种无油涡旋真空泵。背景技术真空泵有水环式泵、旋片式泵、爪式泵、罗茨泵、滑阀泵、涡旋式泵、往复式泵等,按种类可分为干泵(如:爪式泵、罗茨泵、涡旋式泵、往复式泵等)和湿泵(如:水环式泵、旋片式泵等),湿泵的真空度低、工作效率低、噪声大,且真空泵会向真空室内返油,不能做到真空环境清洁无油。干泵的特点是泵腔内没有油来密封,完全靠间隙大大小来保证其极限真空度,密封和间隙问题是影响真空度的主要问题,若间隙太小,由于摩擦力太大,零件因热变形而将齿折断或将主支撑轴承损坏而...
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