技术编号:12446615
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于集成电路芯片生产加工检测技术领域,特别是一种芯片自动检测装置。背景技术集成电路芯片成品生产后,要对芯片进行检测,检测内容包括物理缺陷检测、磁感应检测等等,检测后的合格芯片要进行封装,不合格芯片要进行回收。现有的操作流程中,这一系列动作均通过人工完成,个别工步通过自动化操作实现,但总体来说,人工干预大,效率低,给芯片造成的污染大。实用新型内容为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种芯片自动检测装置,通过全自动化流程,实现芯片的快速检测。本实用新型采取的技术方案是:一种芯片自动检测装置...
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