切割机双显微镜系统及其工作过程的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12458124

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本发明涉及双显微镜切换装置,在不同显微镜镜头间自由切换,从而提高系统识别的速度和成功率。背景技术切割机是一种半导体后封装关键设备,其作用是将器件分割成单个的电路单元。器件上都有特殊标记,切割机通过识别器件上的标记来对准器件进行切割,而这些标记有大有小,传统的设备只有一种显微镜头,这种镜头识别大标记时特征往往不全,容易识别失败,而识别小标记时特征的精度不够,这样造成了切割机在对准时的成功率和速度都不高,影响了产线效率。发明内容本发明的目的在于提供切割机双显微镜系统及其工作过程,能保证系统在不同显微...
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