高通量压电谐振芯片制备方法及测量系统与流程技术资料下载

技术编号:12477120

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本发明涉及一种石英晶体微天平,特别是一种高通量(8通道及以上)压电抗声波耦合及抗应力干扰谐振芯片的制备方法及其测量系统。背景技术石英晶体微天平(QCM)是一种对表面质量高度敏感的传感器,具有操作简单、高敏感度、无需标记、实时监测、免侵入等优点,已被广泛用于物理、化学、生物等各个领域。QCM作为一种基于压电效应的声波分析传感器,它可以通过质量分析和粘弹性分析定量测定固-固/固-液相界面吸附和反应,其在化学与生物传感等领域已有广泛应用,目前在这方面已经有大量的文献报道。近年QCM的质量与粘弹性敏感原...
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