技术编号：12485441
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于带状束的输送的真空室和具备该真空室的质量分析电磁铁。背景技术在离子注入装置和电子线照射装置等各种工业设备中利用离子束和电子束。在各装置中使用的束形状是各种各样的，根据装置结构和成为处理对象的基板的种类，使用点状束、带状束、面状束等各种束。使用这样的具有电荷的束的装置，被称为带电粒子束装置。如果举出作为所述的带电粒子束装置的一种的、离子注入装置的具体例子，则有如专利文献1所述的使用了带状束的离子注入装置。带状束是用与在装置内部输送的带电粒子束的行进方向垂直的平面把带电粒子束切断时的断...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。