氟硅腈化合物的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12508330

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氟硅腈化合物发明领域本发明涉及新颖的氟硅腈化合物以及其制备方法。相关技术的讨论含有附接到硅原子上的一个或两个氟原子以及附接到该硅原子上的至少一个氰基烷基的氟硅腈化合物可以在诸如电池制造(例如,作为溶剂或添加剂)、半导体沉积、氟硅酮玻璃形成、以及半导体蚀刻剂的应用中使用。这种类型的新型氟硅化合物的合成因此将是非常令人感兴趣的,因为与已知的氟硅腈化合物相比,此类新型化合物可以具有独特的且变化的特性。发明简要概述本发明的一个方面提供了新颖的氟硅腈化合物,其中该氟硅腈化合物具有附接到硅原子上的总计四个取...
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