技术编号：12513768
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于带电粒子成像系统的可调式相板。背景技术当使用带电粒子（特别是电子）束对对象进行成像时，对象中的特征可以通过影响透射、反射或散射射束的强度来提供对比度。对象中的某些特征不影响射束的强度，而是影响其相位。为了将相位变化变换成强度变化，即变换成有用的图像对比度，可以使用相板来引入已经与对象相互作用的射束与尚未与对象相互作用的射束之间的相位差。尤其是对于透射电子显微术而言，在过去的几十年中已开发了各种类型的相板。（K.Nagayama“Another60yearsinelectronm...
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