技术编号:12548730
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶棒检验支撑装置。背景技术在现有技术中,对晶棒的检验工序作为传统的肉眼检查的方法,一直是必须且不可以替代的重要工序之一。晶棒检验是对晶棒外观及内部缺陷的检查。使用油脂将表面涂匀后使用偏光笔和激光笔进行检查,确认内部质量;油脂涂抹后晶棒表面湿滑,手工抓取时易出现滑落或磕碰现象;进行端面检验时,需不断调整角度方可确认内部是否存在缺陷;随着市场的变化,传统的检验弊端不断显现,2寸晶棒已逐步朝4寸、6寸及大尺寸材料的转型,人员检验时的拾取动作已超出人力疲劳极限;不利于其它项目检验;人力成本...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。