一种晶棒检验支撑装置的制作方法

本发明涉及一种晶棒检验支撑装置。

背景技术：

在现有技术中，对晶棒的检验工序作为传统的肉眼检查的方法，一直是必须且不可以替代的重要工序之一。晶棒检验是对晶棒外观及内部缺陷的检查。使用油脂将表面涂匀后使用偏光笔和激光笔进行检查，确认内部质量；油脂涂抹后晶棒表面湿滑，手工抓取时易出现滑落或磕碰现象；进行端面检验时，需不断调整角度方可确认内部是否存在缺陷；

随着市场的变化，传统的检验弊端不断显现，2寸晶棒已逐步朝4寸、6寸及大尺寸材料的转型，人员检验时的拾取动作已超出人力疲劳极限；不利于其它项目检验；人力成本提升、检验成本提升和加工效率的降低，成为普遍现象。

技术实现要素：

为克服现有技术的缺陷，本发明的目的在于提供一种晶棒检验支撑装置，使得晶棒检验时方便简单。

本发明解决技术问题采用如下技术方案：

一种晶棒检验支撑装置，其特征在于，包括底座，支撑块、旋转调节杆以及角度调节机构，所述底座，包括一个底板与四个侧板，所述底板呈长方形板体结构，所述四个侧板呈长方体型板体结构，通过螺栓螺母固定在所述底板顶部四周，所述侧板之间通过螺栓螺母相互连接；所述底座两端侧板上各设有两个螺栓孔，所述两个螺栓孔呈相对设置；

所述支撑块为一体式结构，底部呈方形柱体，顶部设有凹槽，所述凹槽呈圆弧形结构，所述凹槽的圆弧角A为120度，所述凹槽内侧设有防滑层；所述支撑块底部设置有圆形通孔；

所述旋转调节杆呈圆柱体结构，所述旋转调节杆通过圆形通孔贯穿所述支撑块，并通过螺栓螺母与所述支撑块固定，所述旋转调节杆两端分别穿过底座两端侧板上的螺栓孔；

所述角度调节机构数量有两个，对称设置于所述底座两侧侧板顶部中间位置，每个所述角度调节机构均包括一个固定件和一个角度调节杆，所述固定件呈方形结构，所述固定件中心位置设置有内螺纹通孔，固定件两侧底部对称设置有固定折边，所述固定折边通过螺钉固定在底座上，所述角度调节杆呈圆柱体结构，其表面设有外螺纹，外螺纹外部套合有螺母，所述角度调节杆通过外螺纹与固定件内螺纹配合实现相互可调连接，并通过螺母拧紧实现角度调节杆与固定件之间固定。

上述一种晶棒检验支撑装置，其特征在于，所述防滑层为均匀覆盖在凹槽内表面上的防滑颗粒层。

与已有技术相比，本发明的有益效果体现在：

使用时，将待检的晶棒取出，放置在凹槽内表面，保持晶棒平衡，进行涂抹油脂；涂抹完成后，滴落多余液体，通过支撑块进行检验，避免手工抓取时发生涂抹不均的现象发生，保证晶棒表面油脂涂覆全面，，使待检晶棒表面光滑易于检验。特别设计的120度圆弧角设计，使得凹槽可将晶棒30%位置包裹，晶棒可在内部旋转，接触位置通过防滑颗粒层进行粗糙处理，防滑、耐腐蚀，不会磕碰晶体。

将旋转调节杆前后移动或左右旋转，带动支撑块及晶棒前后移动或左右旋转，对晶体不同方向进行检验，对衍射的垂直角度进行调节，确保晶棒内部可辨识，检验范围增大降低人工漏检比例，并大大降低了人员疲劳导致搬运磕碰造成的破碎。

两侧的角度调节机构通过内外螺纹配合实现角度调节杆位置调节，两个角度调节杆限定支撑块左右旋转时的最大角度，避免支撑块由于旋转过程中旋转角度过大而造成的滑落与损坏。本专利减少搬运并采用防滑处理，大大提高了检验效率。

附图说明

图1为本专利主视图。

图2为本专利左视图。

图3为本专利固定件示意图。

图4为本专利支撑块主视图。

附图标记：

底座1、底板11、侧板12、螺栓孔13、支撑块2、凹槽21、防滑层22、圆形通孔23、旋转调节杆3、角度调节机构4、固定件41、内螺纹通孔411、固定折边412、角度调节杆42、螺母5。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

实施例

一种晶棒检验支撑装置，其特征在于，包括底座，支撑块、旋转调节杆以及角度调节机构，所述底座，包括一个底板与四个侧板，所述底板呈长方形板体结构，所述四个侧板呈长方体型板体结构，通过螺栓螺母固定在所述底板顶部四周，所述侧板之间通过螺栓螺母相互连接；所述底座两端侧板上各设有两个螺栓孔，所述两个螺栓孔呈相对设置；

所述支撑块为一体式结构，底部呈方形柱体，顶部设有凹槽，所述凹槽呈圆弧形结构，所述凹槽的圆弧角A为120度，所述凹槽内侧设有防滑层；所述支撑块底部设置有圆形通孔；

所述旋转调节杆呈圆柱体结构，所述旋转调节杆通过圆形通孔贯穿所述支撑块，并通过螺栓螺母与所述支撑块固定，所述旋转调节杆两端分别穿过底座两端侧板上的螺栓孔；

所述角度调节机构数量有两个，对称设置于所述底座两侧侧板顶部中间位置，每个所述角度调节机构均包括一个固定件和一个角度调节杆，所述固定件呈方形结构，所述固定件中心位置设置有内螺纹通孔，固定件两侧底部对称设置有固定折边，所述固定折边通过螺钉固定在底座上，所述角度调节杆呈圆柱体结构，其表面设有外螺纹，外螺纹外部套合有螺母，所述角度调节杆通过外螺纹与固定件内螺纹配合实现相互可调连接，并通过螺母拧紧实现角度调节杆与固定件之间固定。所述防滑层为均匀覆盖在凹槽内表面上的防滑颗粒层。

与已有技术相比，本发明的有益效果体现在：

使用时，将待检的晶棒取出，放置在凹槽内表面，保持晶棒平衡，进行涂抹油脂；涂抹完成后，滴落多余液体，通过支撑块进行检验，避免手工抓取时发生涂抹不均的现象发生，保证晶棒表面油脂涂覆全面，，使待检晶棒表面光滑易于检验。特别设计的120度圆弧角设计，使得凹槽可将晶棒30%位置包裹，晶棒可在内部旋转，接触位置通过防滑颗粒层进行粗糙处理，防滑、耐腐蚀，不会磕碰晶体。

将旋转调节杆前后移动或左右旋转，带动支撑块及晶棒前后移动或左右旋转，对晶体不同方向进行检验，对衍射的垂直角度进行调节，确保晶棒内部可辨识，检验范围增大降低人工漏检比例，并大大降低了人员疲劳导致搬运磕碰造成的破碎。

两侧的角度调节机构通过内外螺纹配合实现角度调节杆位置调节，两个角度调节杆限定支撑块左右旋转时的最大角度，避免支撑块由于旋转过程中旋转角度过大而造成的滑落与损坏。本专利减少搬运并采用防滑处理，大大提高了检验效率。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。