一种晶棒检验支撑装置的制作方法

文档序号:12548730阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶棒检验支撑装置,其特征在于,包括底座,支撑块、旋转调节杆以及角度调节机构,所述底座,包括一个底板与四个侧板,所述底板呈长方形板体结构,所述四个侧板呈长方体型板体结构,通过螺栓螺母固定在所述底板顶部四周,所述侧板之间通过螺栓螺母相互连接;所述底座两端侧板上各设有两个螺栓孔,所述两个螺栓孔呈相对设置;

所述支撑块为一体式结构,底部呈方形柱体,顶部设有凹槽,所述凹槽呈圆弧形结构,所述凹槽的圆弧角A为120度,所述凹槽内侧设有防滑层;所述支撑块底部设置有圆形通孔;

所述旋转调节杆呈圆柱体结构,所述旋转调节杆通过圆形通孔贯穿所述支撑块,并通过螺栓螺母与所述支撑块固定,所述旋转调节杆两端分别穿过底座两端侧板上的螺栓孔;

所述角度调节机构数量有两个,对称设置于所述底座两侧侧板顶部中间位置,每个所述角度调节机构均包括一个固定件和一个角度调节杆,所述固定件呈方形结构,所述固定件中心位置设置有内螺纹通孔,固定件两侧底部对称设置有固定折边,所述固定折边通过螺钉固定在底座上,所述角度调节杆呈圆柱体结构,其表面设有外螺纹,外螺纹外部套合有螺母,所述角度调节杆通过外螺纹与固定件内螺纹配合实现相互可调连接,并通过螺母拧紧实现角度调节杆与固定件之间固定。

2.如权利要求1所述的一种晶棒检验支撑装置,其特征在于,所述防滑层为均匀覆盖在凹槽内表面上的防滑颗粒层。

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